镀膜机RF源运用于高度控制的光学镀膜的离子束辅助沉积或离子束沉积。RF离子源首先使用13.56MHz高频信号激励电离子体,产生等离子体,然后分别抽出离子、电子,让其在空间内中和形成等离子体的高能离子源。大家好,今天微星自动化(http://...
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