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晶圆的等离子清洗在0级或更高级别的洁净室中进行,这需要非常高的颗粒。额外的颗粒会在晶片中产生无法修复的缺陷。因此,设计等离子清洗机的腔体必须首先由铝制成,而不是不锈钢。大家好,今天微星自动化(http://wxdcn.com/)小编关注...
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