晶圆等离子清洗机 晶圆等离子清洗机的工作原理

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于晶圆等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍晶圆等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 晶圆等离子清洗的利弊
2. 等离子清洗机原理
3. 等离子清洗机有什么作用

一、晶圆等离子清洗的利弊

清洗分为湿法清洗和干法清洗。等离子清洗属于后者，主要用于去除晶圆表面不可见的表面污染物。在清洗过程中，首先将晶圆放入的真空反应室并进行排气。达到一定后，引入反应气体。这些反应性气体被电离形成等离子体，产生化学品和化学品。物理反应发生在晶圆表面，产生的挥发物被抽出，使晶圆表面保持清洁和亲水。

1.晶圆清洗等离子清洗机：

1-1：

晶圆的等离子清洗在 0 级或更高级别的洁净室中进行，这需要非常高的颗粒。额外的颗粒会在晶片中产生无法修复的缺陷。因此，设计等离子清洗机的腔体必须首先由铝制成，而不是不锈钢。用于放置晶片的支架的滑动部分应由灰尘较少且不易被等离子体腐蚀的材料制成。电极和支架易于拆卸和维护。

1-2：

反应室内的电极间距、层数、气路分布对晶圆加工的均匀性有很大影响。这些指标需要通过不断的实验来优化。

1-3: 1-3:

在等离子清洗晶圆的过程中会积累一些热量。等离子清洗机电极通常采用水冷方式，因为电极板的温度必须保持在一定范围内。

1-4

多层电极等离子清洁器具有相对较高的容量，允许根据需要将多个晶片放置在每个支架上。它适用于去除半导体专用的 4 英寸和 6 英寸晶圆上的光。分立器件和电力雕刻底膜。

然后等离子清洗机用于晶圆级封装的预处理：

2-1：

晶圆级封装（WLP）是一种先进的芯片封装方法。也就是说，整个晶圆被制造出来，然后直接封装在晶圆上。然后将整个晶圆切割成单独的管芯。没有引线键合或灌封，因为使用铜凸块代替引线键合进行电气连接。

2-2：

晶圆级封装预处理的目的是去除表面，减少氧化层，增加铜，提高产品可靠性。

2-3：

根据产能需要，晶圆级封装预处理等离子清洗机的真空反应室设计、电极结构、气流分布、水冷、均匀性等方面会有很大差异。

2-4：

芯片制作完成后，残留的不能用湿法清洗，只能用等离子去除。但是，光刻胶的厚度无法确定，必须调整相应的工艺参数。

二、等离子清洗机原理

等离子清洗机原理是通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

等离子清洗机（plasma cleaner）也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。

等离子体状态中存在下列物质，处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

等离子清洗机的应用领域

汽车行业：点火线圈骨架表面活化、汽车门窗密封件的处理、控制面板在粘合前处理、内饰皮革包裹、内饰植绒前处理等等。

医疗行业：培养皿表面活化、医疗导管粘接前处理、输液器粘接前的处理、酶标板的表面活化等等。

新能源行业：新能源电池电芯的表面处理、电池蓝膜的表面处理、电池表面粘接前的处理等等。

电子行业：芯片表面处理、封装前的预处理、各类电子器件粘接前处理、支架及基板的表面处理等。

等离子清洗机设计的行业非常的广泛，在用户遇到，表面粘接力、亲水性、印刷困难、涂覆不均匀等等问题，都可以尝试等离子清洗机的表面处理，通过表面活化、改性的方式解决问题。

三、等离子清洗机有什么作用

在医疗领域内等离子清洗机在植入体的处理上十分显著。

在实际的应用中会通过介入或者外科手术方法，将植入体其置入身体的不同组织内，通过这种方法能够起到器官替代物的作用，小到牙齿，大到骨骼关节，都能使用得到它。虽然金属植入体看起来像是一种科技含量较高的产物，让人以为它是近代兴起的一种治疗手段，但其实它的历史已经很久了，而且对它的研究几百年间一直没有中断过。而在现在等离子表面处理设备对其的处理也成为了一个重要手段。

植入体是与人的生命和健康密切相关的特殊的功能材料，它作为生物医用功能材料已经有了400余年的历史了，在早期由于医疗卫生不好医疗水平跟不上的条件下，其卫生健康和工艺标准一直都是需要克服的难题。随着医学的发展，对于植入体的临床治疗方法的要求也就越来越高了。如今在低温等离子表面处理设备的出现下，已经能够一改往日那些经常感到困扰的问题了。

那么经过低温等离子表面处理设备的加工处理对植入体有何益处呢？首先，对于低温等离子表面处理设备来说，创造一个无菌的环境是非常容易的。另外既然植入体需要充当器官替代物的作用，那就说明它也要在人体内待上不少时间，对于这类外类植入物，无菌的环境可以说是一定要实现的工艺要求，而等离子表面处理设备正好符合这一需求。

另外等离子表面处理设备还能增强细胞的粘附力，让细胞与植入体之间更亲和，减少人体与植入体之间排异性的反应。这样一来可以使得当金属植入体进入人体后，让细胞进行快速地生长，同时也意味着它能够更快地与体内其他组织相匹配，成为真正意义上的器官替代物。

医疗技术发展到如今，不管是卫生条件还是技术本身都有了长足的进步，使用等离子表面处理设备进行处理加工是随着技术发展所带来的新型选择，因为相比于传统手段而言它是一种更安全更有保障的处理手段。

到此，以上就是微星自动化小编对于晶圆等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于晶圆等离子清洗机的3点解答对大家有用。