大家好,今天微星自动化(http://wxdcn.com/)小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于等离子体cvd设备的问题,于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子体cvd设备的解答,让我们一起看看吧。文章目录:PECVD工作原理是什...
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PECVD--等离子体化学气相沉积法为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应。大家好,今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于等离子体cvd设备的问题,于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子体...
微波等离子体CVD(MicrowavePCVD,MPCVD)将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器,并通入CH4与H2的混合气体,在微波的激励下,在反应室内产生辉光放电,使反应气体的分子离化,产生等离子体。大家好,今天...
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