等离子清洗缺点 等离子清洗缺点有哪些

晶圆的等离子清洗在0级或更高级别的洁净室中进行，这需要非常高的颗粒。额外的颗粒会在晶片中产生无法修复的缺陷。因此，设计等离子清洗机的腔体必须首先由铝制成，而不是不锈钢。大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注...