采用酸性清洗液。离心清洗机清洗晶圆盒子清洗包括机架、机构安装板、晶圆装载端口、风机过滤机组、晶圆搬运机构、晶圆校正机构等,可采用酸性清洗液对晶圆进行清洗,将清洗后的晶圆置于容纳有超纯水的冲洗槽中,同时。大家好,今天微星自动化(http://...
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