1、引入真空室的气体在压力环境下不会电离,因此在充入气体电离产生等离子体之前必须达到真空环境。2、控制真空室中气体种类对等离子处理体过程的可重复性是至关重要的,而真空环境就能允许我们控制真空室中的气体种类。大家好,今天微星自动化(http:...
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