微星自动化提供各类等离子表面处理机,包括真空、低温、大气等多种型号,为您解决金属表面处理难题,满足不同需求。
微星自动化 2024-03-23 11:57 217
大家好,今天微星自动化(http://wxdcn.com/)小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于等离子刻蚀机的问题,于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍等离子刻蚀机的解答,让我们一起看看吧。
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等离子刻蚀机主要采用射频等离子源(也有采用微波离子源)激发反应气体产生等气体离子对目标物进行物理轰击,以达到去除指定物质手段。因为反应力度要求较大,所以等离子刻蚀机基本是采用RF射频等离子发生方式。同理,如果控制等离子源功率和其他相关参数可以降低反应力度,从而也可以对一般电子元件进行清洗去除污染物。从这层作用来讲他们可以共用。
但是在半导体生产过程中,刻蚀和清洗两个工作步骤往往分开的,不共用同一套设备。为了避免物理轰击对元件成型电路带来不可预知的损伤,现在等离子清洗机主流逐渐采用微波等离子清洗机(可百度搜索)了。它的优势是表面电子能比RF少2个数量级,因此可以说对目标物能达到无损。
由于等离子刻蚀工艺中的过程变量,如刻蚀率、气压、温度、等离子阻抗,等等,不易测量, 虚拟测量(Virtual Metrology)
光谱测量(Optical emission spectroscopy)
等离子阻抗监控(Plasma impedance monitoring)
终端探测(end-point detection)
远程耦合传感(remote-coupled sensing) run-to-run 控制(R2R)
模型预测控制(MPC)
人工神经网络控制 1. 确认万用表工作正常,量程置于200mV。
2.冷探针连接电压表的正电极,热探针与电压表的负极相连。
3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点,电压表显示这两点间的电压为正值,说明导电类型为P 型,刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。
4.如果经过检验,任何一个边沿没有刻蚀合格,则这一批硅片需要重新装片,进行刻蚀。
到此,以上就是微星自动化小编对于等离子刻蚀机的问题就介绍到这了,希望介绍关于等离子刻蚀机的2点解答对大家有用。
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