等离子刻蚀机 等离子刻蚀机公司排名

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子刻蚀机的问题，于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍等离子刻蚀机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子蚀刻机(干刻)与等离子清洗机是一件事吗
2. 等离子刻蚀机的等离子刻蚀的测量与控制

一、等离子蚀刻机(干刻)与等离子清洗机是一件事吗

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等离子刻蚀机主要采用射频等离子源（也有采用微波离子源）激发反应气体产生等气体离子对目标物进行物理轰击，以达到去除指定物质手段。因为反应力度要求较大，所以等离子刻蚀机基本是采用RF射频等离子发生方式。同理，如果控制等离子源功率和其他相关参数可以降低反应力度，从而也可以对一般电子元件进行清洗去除污染物。从这层作用来讲他们可以共用。

但是在半导体生产过程中，刻蚀和清洗两个工作步骤往往分开的，不共用同一套设备。为了避免物理轰击对元件成型电路带来不可预知的损伤，现在等离子清洗机主流逐渐采用微波等离子清洗机(可百度搜索)了。它的优势是表面电子能比RF少2个数量级，因此可以说对目标物能达到无损。

二、等离子刻蚀机的等离子刻蚀的测量与控制

由于等离子刻蚀工艺中的过程变量，如刻蚀率、气压、温度、等离子阻抗，等等，不易测量， 虚拟测量（Virtual Metrology）

光谱测量（Optical emission spectroscopy）

等离子阻抗监控（Plasma impedance monitoring）

终端探测（end-point detection）

远程耦合传感（remote-coupled sensing） run-to-run 控制（R2R）

模型预测控制（MPC）

人工神经网络控制 1. 确认万用表工作正常，量程置于200mV。

2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。

3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P 型，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。

4.如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子刻蚀机的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子刻蚀机的2点解答对大家有用。