等离子处理工艺 等离子处理工艺参数

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子处理工艺的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子处理工艺的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 什么是等离子表面处理工艺?
2. 低温等离子烟雾处理是什么处理工艺
3. 等离子表面处理是什么原理?

一、什么是等离子表面处理工艺?

等离子技术处理过的表面，无论是塑料，金属还是玻璃都能获得表面能的提高。通过这样的处理工艺，制品的表面状态才能充分满足后续的涂装，粘接等工艺的要求。

常压等离子技术具有极为广泛的应用领域，这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺，可以实现现代制造工艺所追求的高品质，高可靠性，高效率，低成本和环保等目标

等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性

活化:　大幅提高表面的润湿性能，形成活性的表面

清洗:　去除灰尘和油污，精细清洗和去静电

涂层: 　通过表面涂层处理提供功能性的表面

提高表面的附着能力

提高表面粘接的可靠性和持久性

一、表面清洗

基本功能：对材料表面的油脂、油污等有机物及氧化层机型清洗

使用范围：在溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊、镀膜和PVD、CVD涂覆前的预处理，得到完全洁净和无氧化层的表面；

适用材料：金属、玻璃、陶瓷和各类高分子材料

二、表面活化

基本功能：在材料表面生成活性基团，增加表面极性，提高表面能

使用范围：在印刷、粘合、涂覆前进行预处理，大幅度提高材料表面粘接能力

适用材料：玻璃、陶瓷和各类高分子材料

三、表面聚合

基本功能：通过气体在等离子环境下聚合，在材料上形成厚度约几个微米的保护层

使用范围：在材料应用类似PTFE材质的涂镀、亲水涂镀等。

反应气体：防水涂镀---环己物；类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体 亲水涂镀---乙烯醋酸

四、表面刻蚀

基本功能：通过腔体内等离子气体的处理作用，将被刻蚀物变成气相并排除腔体

使用范围：在塑料印刷和粘合前预处理和半导体材料表面刻蚀处理。

使用材料：硅材料、PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯

二、低温等离子烟雾处理是什么处理工艺

低温等离子废气处理工艺概述

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较， 等离子体技术放电量是电晕放电的50倍，放电密度是电晕放电的130倍。所以,传统低温等离子体技术只能用于室内空气异味治理,与其他低温等离子体技术相比较， 等离子体技术是唯一用于工业化工艺废气治理的技术。

图1   等离子体双介质阻挡放电示意图

等离子体去除污染物的基本过程

过程一：高能电子的直接轰击

过程二：O原子或臭氧的氧化

O2+e→2O

过程三：OH自由基的氧化

H2O+e→OH+H

H2O+O→2OH

H+O2→OH+O

过程四：分子碎片+氧气的反应

低温等离子技术特点

1、技术高端，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作，除臭率最高可达99%。

2、节能： 无机械设备，空气阻力小，耗电量约为0.003kw/m3废气。

3、适应工况范围宽： 设备启动、停止十分迅速，随用随开，不受气温的影响。在250℃以下和在雾态工况环境中均可正常运转。-50℃至 +50℃的环境温度仍可正常运转。

4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧 树脂等材料组成，抗氧化，采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。

5、结构简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。

6、无机械设备：故障率低，维修容易。

7、应用范围广：介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能 量高，几乎可以将所有的异味气体分子降解。

三、等离子表面处理是什么原理?

通过电离形成等离子，它呈现出高度激发的不稳定态，这些高能粒子和活性粒子与材料表面发生物理或化学反应。对表面进行清洁，去除油脂，碳氢等化合物和污染物，引进致密的交联层，或引入含氧极性基团。

等离子原理就是等离子温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。

通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使、粘结性、可染色性、及电性能分别得到改善。

工艺

等离子处理是最有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一，可以用于处理各种材料，包括塑料、金属或者玻璃等。

等离子处理机对表面清洗，可以清除表面上的和添加剂等，而其活化过程，则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等的品质，对于涂层处理而言，则可以进一步改善复合物的表面特性。使用这种等离子技术，可以根据特定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。

以上内容参考：

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态。对气体施加足够的能量使之离化成等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。控制和驾驭这些活性组分聚集后的性能可进行各种各样的表面处理，例如纳米级别的清洁、活化表面的浸润性、化学接枝、涂层沉积等。

等离子体的高化学活性用来在不影响基材的情况下改变表面的性能。实际上可以控制这些部分离化的气体所携带的能量，使之含有很低的“热”能。实现的方法是通过把能量与自由电子而不是与更重的离子进行耦合，这样便可以处理对热量敏感的聚合物，例如聚乙烯和聚丙烯。能量是如何与气体耦合的呢？大多数情况下是通过在低压环境下在两个电极间施加电场。这就像荧光灯的工作原理，唯一的区别是不让光发出。我们支配他的化学性能来处理材料的表面。等离子体也可以在大气压力下产生。在过去，大气压等离子体温度太高而不能作为表面处理的工具。最近，改进的技术可以在大气压力下产生低温等离子体，可应用于大多数对温度敏感的聚合物的处理。

　等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。　 　　等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。 　　等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。 　　等离子体清洗还具有以下几个特点：容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。 　　

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子处理工艺的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子处理工艺的3点解答对大家有用。