微星自动化提供各类等离子表面处理机,包括真空、低温、大气等多种型号,为您解决金属表面处理难题,满足不同需求。
微星自动化 2023-09-22 15:26 92
低温等离子体一般用来处理VOC有机废气,是利用高压放电时候产生的高能电子和离子,分解废气分子。同时高能电子把氧分子分解成两个氧原子,并与氧分子再次结合成臭氧。臭氧是强氧化剂,可以氧化有机污染物。
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低温等离子体一般用来处理VOC有机废气,是利用高压放电时候产生薯闹的高能电子和离子,分解废气分子。同时高能电子把氧分子分解成两个氧原子,并与氧分子再次结合成臭氧。臭氧是强氧化剂,可以氧化有机污染物。水分子受轰击分解成羟基自由基,也是强氧化剂,同样可以氧化有机物。
1、在产生等离子体的过程中,高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能,如:氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯,硫化物H2S、VOC类,苯、甲苯、二甲苯的分子链结构,使有机或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或无害分子;
2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基,这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合,在电场作用下,废气分子处于激发态。
当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时,废气分子的分子键断裂,直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3,能与有害气体分子发生化学反应,最后生成烂腊无害产物;
3、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电,在电场作用下,颗粒污染物被集尘极收集;
4、生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为:等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力,致使细胞膜饥手滑遭到破坏而导致微生物死亡。
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等离子表面处理利用了等离子体在低温条件下能够产生非平衡电子、反应离子和自由基的特性。等离子体中的高能活性基团轰击表面,会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。
物理溅射的过程中,等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移,在某些情况下,还会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。
物理溅射的过程中,等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移,在某些情况下,还会造成次表层上原子的移位,因此物理溅射没有选择性。在化学刻胡尘蚀的过程中,等离子体中的活性基团和表面原子,分子发生反应,产生的挥发性物质可以通过泵抽走。在等离子刻蚀过程中,通过选择不同的工艺参数,可以对不同材料实现高选择性的化学反应刻蚀,然而这种方法对同一种材料的刻蚀是各向同性的。在离子增强刻蚀中,高能粒子撞击表面时,会在表面形成缺陷、位错或悬浮,这些缺陷提高了表面的化学反应刻蚀速率,使这种刻蚀过程同时具备可选择性和方向性。
在所有的这些清洗过程中,在碳氢化合物与衬底之间的键合被削弱,获得的能量使这些有机复合物从衬底上脱离。一旦脱离有机化合物分子基团就会被惰性气体带走。等离子体所产生的光辐照、中性粒子流和带电粒子轰击为结合键的断裂提供了能量。这些能量首先被碳氢化合物吸收后,在各种形式的二次过程中又被消耗掉。正是这些各种形式的二次过程实现了表面清洗的效果。在等离子体中存在大量的紫外线辐照,能量被聚合凳孙物吸收后,产生了化学性质非常活跃的自由基,这些自由基和容易与等离子体中的气体发生发生反应,产生挥发性气体。在等离子体中,快离子与中性粒子碰撞后产生的中性自由基不断地轰击样品表面,以动能、振动‘解离和激发态的模式在中性粒子之间进行电荷交换和能量传递。运动动能和振动动能以一种温和的方式加热表面,解离和激发态产生的自由基以平动或振动的方式传递热量。如果能量超过阈值,则可能导致溅射,并伴随着自由基团的产生。
处理明显的类似于机械的方法去除表面污染物溅射过程外,等离子体中的自由基是最重要的去除碳氢化合物的因素。这些自由基包括O、OH、H和C自由基。具体的清洗过程与实际存在的碳水化合物特性密切相关。下面是自由基清洗过程的概要方程式
RH→P*+H*
RO→P*+O*
ROH→P*+OH*
其中,RH、RO、ROH代表各种碳水化合物,它们与H、OH和O自由基团结合后形成低能的化学键,P*代表反应产物。等离子体中的部分能量传递给H键、OH键或者O键后,这些化学键将被打断,并形成自由基,一旦这些自由基形成后(H,O,OH),就能够和其他的元素结合形成气化的CO、二氧化碳,和水,这些气体就很容易被气流从表面带走。很显然,在碳氢化合物的分解过程中存在很多的中间步骤,最终,原先的碳氢化合物中枣做链所含的C、H、和O都被变成气体后,也就随即从样品表面消失。
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到此,以上就是微星自动化小编对于等离子处理机工作原理的问题就介绍到这了,希望介绍关于等离子处理机工作原理的3点解答对大家有用。
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