国内等离子刻蚀机(国内等离子刻蚀机厂家)

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于国内等离子刻蚀机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍国内等离子刻蚀机的解答，让我们一起看看吧。

1. 宁波中微控股有限公司可靠吗
2. 什么是等离子刻蚀
3. 等离子是如何对材料进行刻蚀的

宁波中微控股有限公司可靠吗

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前景广阔啊，发展迅速的半导体公司。

中微是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。

中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。

中微总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。作为制造和创新的中心，中国和亚洲具有得天独厚的优势和高速成长的市场，而这使中微有无限广阔的发展前景。

什么是等离子刻蚀

首先是要利用气压为10～1000帕的特定气体（或混合气体）的辉光放电，产生能与薄膜发生离子化学反应的分子或分子基团，生成的反应产物是挥发性的。

等离子是如何对材料进行刻蚀的

等离子刻蚀的原理可以概括为以下几个步骤：

　　●在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals）

　　●活性反应基团和被刻蚀物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物

　　●反应生成物脱离被刻蚀物质表面，并被真空系统抽出腔体。

　　在平行电极等离子体反应腔体中，被刻蚀物是被置于面积较小的电极上，在这种情况，一个直流偏压会在等离子体和该电极间形成，并使带正电的反应气体离子加速撞击被刻蚀物质表面，这种离子轰击可大大加快表面的化学反应，及反应生成物的脱附，从而导致很高的刻蚀速率，正是由于离子轰击的存在才使得各向异性刻蚀得以实现。

到此，以上就是微星自动化小编对于国内等离子刻蚀机的问题就介绍到这了，希望介绍关于国内等离子刻蚀机的3点解答对大家有用。