真空式等离子处理机(真空式等离子处理机工作原理)

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于真空式等离子处理机的问题，于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍真空式等离子处理机的解答，让我们一起看看吧。

1. 等离子清洗机工艺流程
2. 真空等离子清洗的原理

等离子清洗机工艺流程

等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

等离子清洗机工艺流程如下：

(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa 左右的标准真空度。一般排气时间人约需要2min。

　　(2)向真空室引入等离子清洗用的气休，并使其压力保持在100Pa。根据清洗材质的不同，可分别选用氧气、氢气、氩气或氮气等气体。

　　(3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体*笼罩在被处理工件，开始清洗作业。一股清洗处理持续几十秒到几分钟。

　　(4)清洗完毕后切断高频电压，并将气体及汽化的污垢排出，同时向真空室内鼓入空气，并使气压升至一个大气压。

真空等离子清洗的原理

真空等离子清洗机运行原理

真空等离子清洗机是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，产生含有离子，通过等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里，给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，产生高能量的无序的等离子体，活性等离子对被清洗物进行表面物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以达到清洗、活化、接枝等目的。

真空等离子清洗机的工作原理是:在有效的真空度内,利用2个电极形成电磁场.随着气体越来越稀薄,分子之间受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光.等离子体在真空腔体空间内自由运动,不断轰击被处理材料表面并与其反应生成产物分子.撤去真空条件后,材料表面的产物分子与空气接触发生解析,生成活性基团

到此，以上就是微星自动化小编对于真空式等离子处理机的问题就介绍到这了，希望介绍关于真空式等离子处理机的2点解答对大家有用。