等离子镀膜机♏等离子镀膜机的原理

对于磁控溅射镀膜，由于阴极靶面电磁场的非均匀分布，造成等离子体密度的分布不均，最终导致靶原子的不均匀溅射和不均匀沉积。可以通过改进磁路布置，优化靶的设计来提高薄膜均匀性。也可以增加遮挡机构10'，采用旋转基片。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子镀膜机的问题，于是微星自动化小编就整理了5个相关介绍等离子镀膜机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 使用等离子磁控溅射镀膜仪制备薄膜时,薄膜的厚度主要受哪些因素的影响...
2. 真空镀膜机应用在哪些行业
3. 韩一镀膜机做完等离子后硅靶的真空度一直不够,怎么解决
4. 真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?
5. 多弧离子镀膜工作原理

一、使用等离子磁控溅射镀膜仪制备薄膜时,薄膜的厚度主要受哪些因素的影响...

薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响。
磁控溅射法能在低压、低温下以较大的沉积速率制备薄膜，而且制备的薄膜致密_结合力好，因此在机械、光学和电子行业得到了广泛应用。
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。任何一种有实际应用价值的薄膜，都对膜厚分布有特定的要求。除了少数特殊场合外，绝大多数情况下，都要求薄膜厚度尽可能均匀一致。近年来对此问题的理论2~7或工艺8有了广泛研究。对于磁控溅射镀膜，由于阴极靶面的非均匀分布，造成等离子体密度的分布不均，最终导致靶原子的不均匀溅射和不均匀沉积。可以通过改进磁路布置，优化靶的设计来提高薄膜均匀性。也可以增加遮挡机构10'，采用旋转基片，如自转、公转、行星夹具等改善薄膜的均匀性。但对于一台现有的磁控溅射镀膜设备，阴极靶的形状、磁路等结构参数及基片的运动方式已经确定，通过调整工艺，研究沉积工艺对薄膜均匀性的影响就很有必要。

二、真空镀膜机应用在哪些行业

真空镀膜机分成四种：

1、真空蒸发机

2、磁控溅射镀膜机

3、多弧离子镀膜机

4、卷绕式真空镀膜机

主要用于五金件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品等，如手表、手机金属壳、电脑、洁具、刀具、模型、电子产品、塑料制品、亚克力板材、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、化妆包等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建料等行业、灯具、手机视窗、眼睛、舞台灯光等等。

镀膜机按照其应用领域很广泛，可以分为电子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机、关学镀膜机设备等等，但是他们的结构都一样：

主要有三大部分组成：真空主体——真空腔，辅助排气系统（包括排气系统、真空测量系统）、蒸发系统（包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜）、成膜控制系统。

主要用于五金件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品等，如手表、手机金属壳、电脑、洁具、刀具、模型、电子产品、塑料制品、亚克力板材、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、化妆包等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建料等行业、灯具、手机视窗、眼睛、舞台灯光等等。

三、韩一镀膜机做完等离子后硅靶的真空度一直不够,怎么解决

可以查查不做等离子也是一样吗？重新来一遍抽气过程真空度怎样？我觉得应该至少是从你说的这次等离子后有地方漏气，只能检漏，查找漏点；当然，粗抽泵、分子泵等泵也可以能有问题，但几率相对较小。

四、真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?

离子镀膜其实是离子溅银改射镀膜，

对于导电，使用直流偏压电源；非导电靶材，使用脉冲偏压电源。

你这雀哪个多弧离子镀膜机，可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源

偏压电源顷搏码其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场，一般是阴极加负高压。阴极表面的在电场作用下定向加速发射，发射电子轰击气体分子，使之电离，并且气体被驱出的电子被电场加速，继续电离其他气体分子，连续不断，形成雪崩效应，气体被击穿，形成恒定的电离电流。此时离子也被加速，轰击靶材，将靶材中的原子驱除出表面，并沉积在样品表面。

电弧电源有点类似启辉器和，靠电弧加热电离气体形成等离子体，而不是电子加速撞击。

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五、多弧离子镀膜工作原理

多弧离子镀膜是一种通过电弧放电和离子轰击的原理，在基材表面沉积出金属膜的技术。其基本工作原理如下：

1. 准备工作：将靶材（通常为金属）放置在真空室内，然后抽取空气，制造出高真空环境。

2. 电弧放电：使用高能量直流脉冲等方式加热靶材，引起金属表面产生高温等离子体，并将金属原子和离子释放到真空室中。

3. 离子轰击：通过调节离子加速器和磁控系统，使释放的金属离子在真空室中形成离子束，并以较高的能量轰击基底表面。在离子轰击的作用下，基底表面的原子得到激发，与金属离子之间发生反应，从而沉积出厚度0.1微米到数百微米不等的纯金属膜层。注意：在多弧离子镀膜的过程中，也可以添加其他气体或化合物来制备复合膜层，使金属膜层具有多种特殊性质。

4. 结束工作：完成离子轰击后，停止加热靶材，将沉积在基底表面的薄膜脱离真空室。

多弧离子镀膜具有高纯度、高致密度、厚度均匀性好等特点，同时还可以制备出不同颜色、不同组成的复合膜层，因此被广泛应用于光学、电子、机械等领域。

多弧阴极根据靶材的不同,能够稳定工作的电流是不一样的,例如：如果是Cr靶,可以在60A左右就可以稳定工作,Ti靶在70A左右可以稳定工作,Zr的稳弧电流稍高一些,大约在100A左右,阴极的工作电压在20V-30V之间. 镀膜时,比如你要做TIC黑膜,就必须选用Ti靶,TI的工作电流在70A,工作电压在25V左右,需要向真空室内充入C2H2气体,镀膜时的真空度要保持在0.5Pa左右,一般情况下,是用分子泵或者扩散泵来抽取这些气体,使得真空室保持一定的压力,此时的滑阀泵和罗茨泵充当分子泵或者扩散泵的前级泵,是一直要开着的.

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子镀膜机的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子镀膜机的5点解答对大家有用。