硅片等离子清洗机|硅片等离子清洗机原理

等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。在这种情况下。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于硅片等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍硅片等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机的清洗原理
2. 等离子清洗机的介绍
3. 等离子清洗机有什么用?

一、等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机是一种全新的高科技技术，利银早用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。 等离子清洗机的清洗原理：等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。等离子处理器主要应用于印刷包装行业、电子行业、塑胶行业、家电行业、汽车工业、印刷及喷码行业，在印刷包装行业可直接与全自动糊盒机联机使用。等离子体主要用来对覆膜、UV上光、高分子、金属、半导体、橡胶、塑胶、玻璃、PCB电路板等各类复杂材料进行表面处理，提高表面附着力，使产品在粘胶、丝印、移印、喷涂上达到最佳效果等离子处理机。

1.喷射出的等离子体流为中性，不带电 ，可以对各种高分子、金属、半导体、橡胶、PCB电路板等材料进行表面处理。

2.等离子表面处理器处理后去除了碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂，有利于粘结、性能持久稳毕拆定，保持时间长。

3.温度低、适合运用于那些表面材料对温度敏感的制品。

4.不需要箱体，可以直接安装在生产线上，在线运行处理。相对与磨边机的反向运行，大大提高了工作效率。

5.只消耗空气和电，因此运行成本低，操作更安锋数雀全。

6.干式方法处理无污染，无废水，符合环保要求；并且替代了传统的磨边机，杜绝了纸粉纸毛对环境及设备的影响。

7.经等离子表面处理器处理后，可采用普通胶水来粘盒，降低了生产成本。

二、等离子清洗机的介绍

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

普特勒电气科技公司专注于等离子技术产品的研发、应用与生产，通过等离子技术的进步，可以取代原有的低效率、重污染、高成本的生产工艺环节，为各个领域的工艺优化提供更好的方案。

主要技术产品：

低温大气射频辉光等离子技术

低温大气射流等离子技术

低温中频真空等离子技术

低温射频真空等离子技术

PTL--普特勒低温大气射频辉光等离子技术

PTL普特勒公司通过多年射频电源的研发经验及对放电控制技术深入实验，成功实现了在大气压下的射频均匀辉光放电，使射频辉光放电不再需要真空状态，实现了最大2000mm的宽幅均匀辉光放电，并在多个领域实现应用。系统使用方便、性能稳定、低耗高效。

PTL-普特勒低温大气射频辉光等离子系统的应用领域

FPD 方面

LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。

TSP 方面

触摸屏的主要工艺的清洗，提高OCA/OCR，压层，ACF，AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力，为去除气泡/异物，通过多种大气压等离子形态的运用，可以将各种玻璃，薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。

半导体 方面

半导体成型工艺，刻模工艺&焊接工艺，焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力，和引线框架的安装和粘接力，板材和焊球之间的粘结力。防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 ，可以采用多元系统技术。另外，因为可以根据硅片的大小制造大气压等离子，无论多小的等离子都可以适用。

三、等离子清洗机有什么用?

等离子清洗机是一种处理物体表面的型渣镇清洗设备，一般用于物体的改良，活化，刻蚀，灰化处理。卜粗它是由真空系统，等离子电源，匹配器，电极系统，自动控制系统，工艺气路系统，温控系统，尾气处理系统等组成。它的工作原理是等离子体在一个等离子体装置的密封容器中设置两个电极形成磁场，然后用真空泵抽取内部空气，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，在电磁场的作梁悄用下，发生碰撞而形成等离子体，等离子体在电磁场内剧烈运动，从而轰击处理物体表面，从而达到表面处理，清洗，刻蚀的效果。广东启天股份是一家从事了十多年经验的专门设计等离子清洗机的企业，市场占有率高，可以放心采购

不同行业有不同的作用

在LED行业中用于点银胶之前清除渗带基板上的污染物，有利于银胶凳喊渣平铺及芯片粘贴；

用于引线键合前处理氧化层等污染物，提高引线与芯片及基板之间焊接的粘附性，增强键合强度；

用于LED封胶之前清洗氧化层或者污物，使芯片与基板会更加紧密的和胶体相结合。

清洗支架上的氧化层或者污物，提高胶体与支架结合的紧密性防止空枣悄气渗透造成不良。

经过等离子处理之后的成品不易出现死灯现象，有效提高良品率！

等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。达因特等离子清洗的作用主要是：

（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，咐档增大了样品的比表面。提高手饥固体表面的润湿性能。

（2）激活键能，交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（3）形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入毕简返新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

到此，以上就是微星自动化小编对于硅片等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于硅片等离子清洗机的3点解答对大家有用。