等离子体刻蚀设备|等离子体刻蚀设备国内发展状况

某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子体刻蚀设备的问题，于是微星自动化小编就整理了4个相关介绍等离子体刻蚀设备的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子刻蚀机的介绍
2. 感应耦合等离子体刻蚀机启辉后一直闪
3. 等离子体刻蚀机的地线在哪
4. 中国的光刻机达到了世界先进水平,但为何生产高端芯片依然困难重重?

一、等离子刻蚀机的介绍

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理模滚仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子御码孝组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室镇稿的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。

二、感应耦合等离子体刻蚀机启辉后一直闪

感应耦合等离子体刻蚀机（ICP-RIE）在启动后一直闪烁是因为以下原因：
1、气体问题：ICP-RIE需要使用特定的工艺气体来创建等离子体。如果气体供应不足或气体质量有问题，导致等离子体始终无法稳定维持，从而导致闪烁现象。您可以检查气体供应系统，确保气体充足且正常工作。
2、射频功率问题：ICP-RIE使用射频功率来激活等离子体。如果射频功率设置不正确，例如功率过低或过高，会导致等离子体不稳定和闪烁。您可以检查设备的射频功率设置，确保它适合当前的工艺需求。
3、设备故障：ICP-RIE设备本身可能存在故障或问题，例如损坏的零件或控制系统故障，这可能导致闪烁现象。在这种情况下，最好联系设备制造商或维修人员进行检修和修复。

三、等离子体刻蚀机的地线在哪

等离子体刻蚀机的地线通常连接到设备的机架、外壳和电源供应器等部分。这些地线都是经过精心设计和安装的，以确保设备在正常工作过程中具有良好的接地性能。

四、中国的光刻机达到了世界先进水平,但为何生产高端芯片依然困难重重?

 018年12月，中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米，相当于头发丝直径（约为0.1毫米）的二万分之一，将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划2019年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。

▲半导体器件工艺制程从14纳米微缩到5纳，等离子蚀刻步骤会增加三倍

刻蚀机是芯片制造的关键设备之一，曾一度是发达国家的出口管制产品。中微半导体联合创始人倪图强表示，中微与科林研发(Lam

Research)、应用材料(Applied Materials)、东京威力科创(Tokyo Electron

Limited）、日立全球先端科技 (Hitachi High-Technologies)

4家美日企业，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。中微半导体如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机，预计能获得比7纳米更大的市场份额。

中科院SP超分辨光刻机

提问者所说的中国光刻机达到世界先进水平，应该是指2018年11月29日通过验收的，由中国科学院光电技术研究所主导、经过近七年艰苦攻关研制的“超分辨光刻装备”项目。

该项目下研制的这台光刻机是“世界上首台分辨力最高的紫外(即22纳米@365纳米)超分辨光刻装备”。这是一种表面等离子体（surfaceplasma，SP）超分辨光刻装备。

▲中科院研制成功并通过验收的SP光刻机

该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米。结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10nm级别的芯片。

▲中科院研发的光刻机镜头

目前这个装备已制备出一系列纳米功能器件，包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片、超表面成像器件等，也就是说，目前主要是一些光学等领域的器件。验证了该装备纳米功能器件加工能力，已达到实用化水平。

▲中科院SP光刻机加工的样品

然而，此次验收合格的中科院光电技术研究所的这台表面等离子超衍射光刻机（SP光刻机）的加工精度与ASML的光刻机没法比。没法用于刻几十纳米级的芯片，至少以现在的技术不能。

据光电所专家称，该所研制成功的这种SP光刻机用于芯片制造上还需要攻克一系列的技术难题，目前距离还很遥远。也就是说中科院研制的这种光刻机不能（像一些网媒说的）用来光刻CPU。它的意义是用便宜光源实现较高的分辨率，用于一些特殊制造场景，很经济。

总之，中科院的22纳米分辨率光刻机跟ASML垄断的光刻机不是一回事，说前者弯道超车，就好像说中国出了个竞走名将要超越博尔特。

显然，中科院研制成功的这台“超分辨光刻装备”并不能说明我国在市场主流的的光刻机研制方面已经达到了世界先进水平，那么现阶段我国的光刻机的真实水平又是怎样的呢？且看以下对比。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子体刻蚀设备的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子体刻蚀设备的4点解答对大家有用。