等离子体处理 氧气等离子体处理

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子体处理的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子体处理的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 各位大虾,谁知道等离子表面处理是什么原理,请详细点
2. 请问,低温等离子体废气处理技术工作原理是什么?
3. 低温等离子体废气处理设备性能特点?

一、各位大虾,谁知道等离子表面处理是什么原理,请详细点

等离子表面处理利用了等离子体在低温条件下能够产生非平衡电子、反应离子和自由基的特性。等离子体中的高能活性基团轰击表面，会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。

物理溅射的过程中，等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移，在某些情况下，还会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。

物理溅射的过程中，等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移，在某些情况下，还会造成次表层上原子的移位，因此物理溅射没有选择性。在化学刻蚀的过程中，等离子体中的活性基团和表面原子，分子发生反应，产生的挥发性物质可以通过泵抽走。在等离子刻蚀过程中，通过选择不同的工艺参数，可以对不同材料实现高选择性的化学反应刻蚀，然而这种方法对同一种材料的刻蚀是各向同性的。在离子增强刻蚀中，高能粒子撞击表面时，会在表面形成缺陷、位错或悬浮，这些缺陷提高了表面的化学反应刻蚀速率，使这种刻蚀过程同时具备可选择性和方向性。

在所有的这些清洗过程中，在碳氢化合物与衬底之间的键合被削弱，获得的能量使这些有机复合物从衬底上脱离。一旦脱离有机化合物分子基团就会被惰性气体带走。等离子体所产生的光辐照、中性粒子流和带电粒子轰击为结合键的断裂提供了能量。这些能量首先被碳氢化合物吸收后，在各种形式的二次过程中又被消耗掉。正是这些各种形式的二次过程实现了表面清洗的效果。在等离子体中存在大量的紫外线辐照，能量被聚合物吸收后，产生了化学性质非常活跃的自由基，这些自由基和容易与等离子体中的气体发生发生反应，产生挥发性气体。在等离子体中，快离子与中性粒子碰撞后产生的中性自由基不断地轰击样品表面，以动能、振动‘解离和激发态的模式在中性粒子之间进行电荷交换和能量传递。运动动能和振动动能以一种温和的方式加热表面，解离和激发态产生的自由基以平动或振动的方式传递热量。如果能量超过阈值，则可能导致溅射，并伴随着自由基团的产生。

处理明显的类似于机械的方法去除表面污染物溅射过程外，等离子体中的自由基是最重要的去除碳氢化合物的因素。这些自由基包括O、OH、H和C自由基。具体的清洗过程与实际存在的碳水化合物特性密切相关。下面是自由基清洗过程的概要方程式

RH→P*+H*

RO→P*+O*

ROH→P*+OH*

其中，RH、RO、ROH代表各种碳水化合物，它们与H、OH和O自由基团结合后形成低能的化学键，P*代表反应产物。等离子体中的部分能量传递给H键、OH键或者O键后，这些化学键将被打断，并形成自由基，一旦这些自由基形成后（H，O，OH），就能够和其他的元素结合形成气化的CO、二氧化碳，和水，这些气体就很容易被气流从表面带走。很显然，在碳氢化合物的分解过程中存在很多的中间步骤，最终，原先的碳氢化合物中所含的C、H、和O都被变成气体后，也就随即从样品表面消失。

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二、请问,低温等离子体废气处理技术工作原理是什么?

低温等离子体一般用来处理VOC有机废气，是利用高压放电时候产生的高能电子和离子，分解废气分子。同时高能电子把氧分子分解成两个氧原子，并与氧分子再次结合成臭氧。臭氧是强氧化剂，可以氧化有机污染物。水分子受轰击分解成羟基自由基，也是强氧化剂，同样可以氧化有机物。

1、在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能量能够打开某些有害气体分子的化学能，如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或无害分子；

2、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态。

当废气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。

同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，最后生成无害产物；

3、物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集；

4、生物作用表现在具有消毒杀菌之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。

三、低温等离子体废气处理设备性能特点?

低温等离子体废气处理设备性能特点具体内容是什么，下面中达咨询为大家解答。

●、“低温等离子体”技术是电子、化学、催化剂等综合作用下的电化学过程，是一全新的技术创新领域。

●、依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏分子结构，达到净化目的。 ●、电集尘作用，利用等离子体产生大量电子荷正、负离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞，在外加电场力的作用下，被集尘极收集。（金属冶炼过程中可以中的贵重金属）。也同时产生大量的负离子，能使负离子浓度保持在适当的水平，这对改善空气品质有着重要的意义。 ●、具有消毒杀菌之功效，利用等离子体使微生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致微生物死亡。 ●、低温等离子体处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，不需任何添加剂，不产生、废渣，不会导致二次污染。能同时净化多种气态污染物。 ●、对长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除。强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物，具有明显的防霉作用，使空气始终保持清新、自然。 ●、产品重量轻，体积小，可按场地要求立放、卧放，可根据浓度、流量、成份进行串、并组合设计达到完全的净化。 ●、低温等离子体技术应用在气态污染物的治理中，由实验室研究转向工业化生产的最成熟的产品之一。持久的净化功能，长期运行安全、稳定、可靠，无须专人看管。 ●、设备制作精良。内胆由不锈钢方管、圆管、树脂板、稀有金属做为发射丝等组成，外壳可按客户要求有：全不锈钢、骨架酸洗磷化喷塑+PP板、全冷扎板等多种形式。 ●、低能耗。运行费用低廉、经济，其“省电”是一大特点。长寿命，对酸、碱气体、潮湿环境等具有良好的防腐性能。

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到此，以上就是微星自动化小编对于等离子体处理的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子体处理的3点解答对大家有用。