等离子表面处理示意图 等离子体表面处理原理

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子表面处理示意图的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子表面处理示意图的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机有什么作用
2. PECVD工作原理是什么?
3. 等离子清洗机“洗”什么

一、等离子清洗机有什么作用

在医疗领域内等离子清洗机在植入体的处理上十分显著。

在实际的应用中会通过介入或者外科手术方法，将植入体其置入身体的不同组织内，通过这种方法能够起到器官替代物的作用，小到牙齿，大到骨骼关节，都能使用得到它。虽然金属植入体看起来像是一种科技含量较高的产物，让人以为它是近代兴起的一种治疗手段，但其实它的历史已经很久了，而且对它的研究几百年间一直没有中断过。而在现在等离子表面处理设备对其的处理也成为了一个重要手段。

植入体是与人的生命和健康密切相关的特殊的功能材料，它作为生物医用功能材料已经有了400余年的历史了，在早期由于医疗卫生不好医疗水平跟不上的条件下，其卫生健康和工艺标准一直都是需要克服的难题。随着医学的发展，对于植入体的临床治疗方法的要求也就越来越高了。如今在低温等离子表面处理设备的出现下，已经能够一改往日那些经常感到困扰的问题了。

那么经过低温等离子表面处理设备的加工处理对植入体有何益处呢？首先，对于低温等离子表面处理设备来说，创造一个无菌的环境是非常容易的。另外既然植入体需要充当器官替代物的作用，那就说明它也要在人体内待上不少时间，对于这类外类植入物，无菌的环境可以说是一定要实现的工艺要求，而等离子表面处理设备正好符合这一需求。

另外等离子表面处理设备还能增强细胞的粘附力，让细胞与植入体之间更亲和，减少人体与植入体之间排异性的反应。这样一来可以使得当金属植入体进入人体后，让细胞进行快速地生长，同时也意味着它能够更快地与体内其他组织相匹配，成为真正意义上的器官替代物。

医疗技术发展到如今，不管是卫生条件还是技术本身都有了长足的进步，使用等离子表面处理设备进行处理加工是随着技术发展所带来的新型选择，因为相比于传统手段而言它是一种更安全更有保障的处理手段。

二、PECVD工作原理是什么?

1PECVD工艺的基本原理

PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。

在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在的作用下从出口排出。

2.2PECVD设备的基本结构

PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。其设备结构框图如图2所示。

2.2.1真空和压力控制系统

真空和压力控制系统包括机械泵、分子泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、真空计等。为了减少氮气、氧气以及对淀积工艺的影响，真空系统一般采用干泵和分子泵进行抽气，干泵用于抽低真空，与常用的机械油泵相比，可以避免油泵中的油气进入真空室污染基片。在干泵抽到一定压力以下后，打开闸板阀，用分子泵抽高真空。分子泵的特点是抽本体真空能力强，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

2.2.2淀积系统

淀积系统由射频电源、水冷系统、基片加热装置等组成。它是PECVD的核心部分。射频电源的作用是使反应气体离子化。水冷系统主要为PECVD系统的机械泵、罗茨泵、干泵、分子泵等提供冷却，当水温超过泵体要求的温度时，它会发出报警信号。的管路采用塑料管等绝缘材料，不可用金属管。基片加热装置的作用使样品升温到工艺要求温度，除掉样品上的水蒸气等杂质，以提高薄膜与样品的附着力。

2.2.3气体及流量控制系统

PECVD系统的气源几乎都是由气体钢瓶供气，这些钢瓶被放置在有许多安全保护装置的气柜中，通过气柜上的、管道输送到PECVD的工艺腔体中。

在淀积时，反应气体的多少会影响淀积的速率及其均匀性等，因此需要严格控制气体流量，通常采用来实现精确控制。

三、等离子清洗机“洗”什么

等离子清洗机，又名电浆机，等离子表面处理设备。光从名称上来看，清洗并不是清洗，而是处理和反应。从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。推荐知名厂家：广东启天。这个团体的服务及售后都很好

经常会有客户问等离子清洗机，是不是什么脏东西都能洗掉？到底是洗什么的，对于这类问题我相信很多刚接触等离子清洗机的人都会想到，所以在这里我们有详细说明一下。

等离子清洗机，又名电浆机，等离子表面处理设备。从名称上来看，清洗并不是清洗，而是处理和反应。从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。

我们使用的工作气体，经常用到氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、甲烷（CF4）等。在等离子清洗机过程中很容易对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等进行处理。这样以来让我们很容易联想到：去除零件上的油污，去除手表上的抛光膏，去除线路板上的胶渣，去除DVD上的水纹等等所延伸的领域大都能用等离子清洗机解决。

但是， “洗表面”才是等离子清洗机技术的核心，这一核心也是现在众多企业之所以选择 等离子清洗机的重点。“洗表面”跟电浆机和等离子表面处理设备这两个名字密切相联。简单的来说清洗表面就是在被处理材料表面打出无数个肉眼看不到的小孔，同时在表面形成一个新的氧化层薄膜。这样以来大大增加了被处理材料的表面积，间接性的增加了材料表面的粘附性、相容性、浸润性、扩散性等等。而这些性能又恰当的应用在手机，电视，微电子，半导体，医疗，航空，汽车等各行各业中，为众多企业解决多年未曾解决的难题。

所以，等离子清洗机并不是什么脏东西都能洗掉，它是比较针对性的去除某些物质和材料表面改性处理。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子表面处理示意图的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子表面处理示意图的3点解答对大家有用。