等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型,其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上,等离子清洗机的品牌很多,主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。
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