等离子蚀刻设备 等离子蚀刻设备可以镀膜吗

某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应。

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子蚀刻设备的问题，于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍等离子蚀刻设备的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子刻蚀机的介绍
2. 等离子蚀刻机哪个厂家好?

一、等离子刻蚀机的介绍

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。

二、等离子蚀刻机哪个厂家好?

等离子蚀刻机在目前比较常见的品牌有茂宏、普乐斯、金伯利莱、普世曼、微星等品牌，用户在进行选择的时候可以根据自己的需求进行不同品牌厂家的选择，不过微星这个厂家生产的产品具有国家专利而且市场覆盖率也大，值得优先考虑。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子蚀刻设备的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子蚀刻设备的2点解答对大家有用。