高温等离子清洗 高温等离子清洗机价格

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪（Plasma surface treatment）,是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于高温等离子清洗的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍高温等离子清洗的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. plasma等离子清洗设备平时怎么保养?
2. 等离子清洗机处理晶圆的时候为什么会产生闪光?是因为真空腔里面加入了氧...
3. 室内空气消毒方法有哪些?

一、plasma等离子清洗设备平时怎么保养?

等离子清洗机保养

1、检查电源连接

电压是否与设备匹配

（设备的电压为220V）。

2、检查输气管道的完整性及真空密封性

定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

检查各管路是否连接紧固，老化等问题。

3、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。

其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。

4、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪 音异常，则及时更换真空油。

归纳起来就是：清洁、紧固、检查、补充。

一、清洁

空气中含有大量灰尘、泥沙和酸性物质，不仅容易被泄漏的燃油黏附，在高温烘烤下容易形成坚硬的保温层，使机件的散热性能变差，而且容易被车身静电吸而侵蚀油漆面，使其过早褪色。

1、清洁空气滤清器

空气滤清器过脏会陡阻碍新鲜空气进入汽缸，导致合气过浓、燃烧不完全、功率下降、排气超标。现代空气滤清器一般都采用纸质滤芯，清洁时注意：不用水或油洗，应采用轻拍法和吹洗法。轻拍法即轻轻拍打滤芯端面，使灰尘脱落。吹洗法即用压缩空气滤芯内部往外吹洗，空气压力：力不应超过0.3N/Pa

2、清洁机油滤清器

机油滤淆器堵塞，会阻碍润滑油的流动，使发动机润滑不良、磨损加大甚至烧瓦等。为此，应定期清洗或更换。通常每行驶8000km更换一次，若气候干。应缩短为5 000km更换一次。

3、清洁蓄电池

现代轿车一般都采用免维护蓄电池，首先清洁蓄电池顶部，避免极柱间因电解液或其他杂质而造成短路；其次清洁蓄电池接线柱，防止接头产生氧化物而导致接触不良。通气孔应畅通，以免蓄电池内压力或温度过高而使手爆裂。

二、等离子清洗机处理晶圆的时候为什么会产生闪光?是因为真空腔里面加入了氧...

硅晶片使用等离子处理真空腔里面闪光是正常的，讲清洗其整个过程还比较麻烦。至于等离子除胶通入氧气是常见做法，氧气等离子除胶，原理就是将氧气变成，中性的氧气的变成带电粒子（有，也有负电荷），这些高能粒子轰击物体表面，提高，这就改变物体表面的性质，像使硅片亲水。因为表面能量过高，处于不稳定的状态，所以这种效果稍纵即逝。

不过用特殊气体（少量）和空气作为工艺气体，在处理表面形成羟基，达到亲水效果，大大延长。

等离子表面处理是一种新的技术，可以实现很多功能，主要是超洁净清洗、活化、刻蚀、涂覆这四种。

如果你想要达到活化使得硅片具有亲水的效果，需要使用功率高的进行处理，这时活化的功能占据主导地位，而时效性可以达到1个月至半年。

最前沿的等离子表面处理技术，就是涂覆的功能，在硅片表面加上纳米级别的亲水涂层，而且不影响硅片本身的性能，最终要的一点是这种处理的时效性是永久的

晶圆片级封装等离子体处理在晶园级封装中的先进应用日益增多，由于半导体器件制造商进一步缩小尺寸，提高封装器件的可靠性，等离子处理机在更高层次的晶圆级封装中得到了越来越多的应用。晶圆片等离子清洗机可以处理多种尺寸的晶片，大容量，自动化处理。

片状清洗等离子清洗机用于消除晶园级设备制造或上游组装过程中所产生的污染物。不管是哪种情况，清洁产品以去除氟，氧化物或是金属的污染，都会大大提高集成电路的产量，可靠性和性能。

脱渣为残留量有时仍在发展、处理。等离子体处理在进一步处理之前，少量抗蚀剂在晶片的整个表面上被均匀地去除。晶圆片等离子清洗机等离子体处理可用于成批剥离，材料包括，氧化物，氨化物蚀刻，。蚀刻率均匀度大于97%，每分钟1微米可实现。剥离与蚀刻工艺可用于圆片级封装，MEMS制造及磁盘驱动器处理。硅片前处理等离子处理机去除污染物和氧化，提高粘接率和可靠性。此外，等离子清洗机还为微粗糙改善晶片钝化层之间的粘附。

在UBM中，BCB与UBM的粘附等离子体处理改变晶片的钝化层的形态和润湿作用。高分子材料，例如苯并环丁烯（BCB）和UBM，在晶片的介电层中重新分布。等离子体清洗机处理使硅片初始钝化层形态发生变化，润湿性增强。介质图案形成再分配层的典型方法包括采用典型光刻方法对介质再分配材料进行图案化。晶圆片等离子清洗机等离子体清洗是介质图案化的可行替代方法，并可避免传统的湿法处理。

利用WLP小孔的清理，将晶片组成在堆叠芯片上，常会产生残余的产物，通过形成过程。通等离子体过优化结构，可以在不损伤晶片表面的情况下处理通孔。压凹等离子清洗可改善压凹粘连，提高压凹剪切强度。通过改善晶片表面的凹凸粘连，等离子清洗机可以显著提高凹凸剪切强度，凸模材料包括焊料和金钉的不同成分。

三、室内空气消毒方法有哪些?

空气消毒臭氧发生器具有空气消毒、杀菌、除异味、净化空气的功能，实现无死角、无二次污染、不产生有毒副产物等诸多优势。

臭氧发生器可用于空气消毒、水消毒、污水处理、物体表面消毒、现金消毒、果蔬防腐保鲜、管道清洗消毒、废气处理、烟气脱硫脱硝。

空气消毒臭氧发生器插电即用，支持无人值守运行！整机结构紧凑，占地面积少，运行成本低。

紫外线灯照射———可以是固定式照射，也可以移动式照射，室内按1~1.5W/cm3的紫外线灯功率计算，照射30~60分钟，有很好的消毒效果。由高强度紫外线灯和过滤系统组成循环风紫外线空气消毒器，同样有很好的消毒效果，使用时可开机30分钟，间隔一定时间后再开机；也可持续开机消毒。紫外线照射对人的眼睛、皮肤有一定伤害。

通风换气与保持室内洁净

降低室内微生物密度的有效方法是定时给室内注入新鲜空气，即开窗通风换气。据报道，在室内空气与外界流通的状况下，在最初30分钟内空气中微生物可减少77.3%～79.3%，75分钟内可减少96.4%～99.5%，140分钟后则基本查不到细菌，说明通风换气是十分简便且行之有效的净化室内空气的方法。炎热的夏季，高温难耐，空气稀薄，对流较差，应注意经常开放门窗通风换气；而冬季气候寒冷，室温低，可保持每日通风换气两次，每次20～30分钟即可。

另外，保持与室内的洁净可减少室内尘埃的数量与流动，亦可降低空气中微生物含量。

使用净化空气

开启负离子发生器，利用其产生的电场吸附空气中被感应带电的尘埃与悬浮的微生物颗粒，达到空气的清新净化。

喷雾与熏蒸消毒

含氯消毒剂、、戊二醛、等都可用于空气喷雾与熏蒸消毒。

用于空气喷雾消毒的含氯消毒剂浓度（含有效氯）为400～800ppm；熏蒸可用醛氯合剂（干粉：优氯净＝24：76），用药量3克／m3，大于70%时点燃关闭门窗作用1小时；或用酸氯烟熏剂点燃熏蒸，用药量为1.5克／m3，相对湿度大于70%，关闭门窗作用1小时。

用过氧乙酸进行空气喷雾消毒的浓度为0.04%～0.4%，用药量0.75～1克／m3，作用1小时，相对湿度以60%～80%为宜；熏蒸消毒时，可用3%～5%的过氧乙酸溶液加热熏蒸，用量以1～3克／m3计算，密闭作用1小时，相对湿度以大于60%为宜；如不具备加热条件，则可用16%～20%的过氧乙酸溶液自然挥发，用量为1～3克/m3作用时间为1～2小时。在过氧乙酸中加入20%～70%的乙醇或，可明显增强其消毒效果。过氧乙酸的残余气味可用5%的硫代硫酸钠溶液中和。

用戊二醛来消毒对空气进喷雾或熏蒸消毒效果基本是一样的，相对湿度以80%～90%为宜，用药量为250～500mg/m3，作用半小时。喷雾可用1%～2%的浓度，加热熏蒸则可用浓度稍高的溶液。

二氧化氯活化消毒液是较好的对环境无害的消毒剂，喷雾浓度为200～500ppm，作用15～30分钟，有消毒和除臭作用。

用消毒空气特别是密闭熏蒸消毒时，人不能滞留在室内。

使用紫外线杀菌灯消毒

紫外线杀菌灯消毒既经济又高效，多用于家庭空气消毒，安装好后开启方便，时间便于控制，并且不损害家庭物品。臭氧对人体有一定的危害，故而一般宜采用无臭氧石英紫外线杀菌灯，同时灯下方宜用反光罩，使其向照射，以避免人眼直接接触光源。一般家庭每9～10平方米面积装置一盏30瓦的紫外线杀菌灯即可，每次消毒时间以半个小时为宜。紫外线杀菌灯亦可以装置在离地面2.5m左右的墙壁上，灯管下安装金属反光罩斜向上方，使紫外线照射与水平面成3～8度角左右的范围内。

30瓦紫外线杀菌灯的辐照强度不得低于90μw／cm2（在距灯管垂直1m处测定），当紫外线杀菌灯强度低于70μw／cm2或使用满一千小时以上时应更换灯管。

循环风紫外线空气消毒器由高强度紫外线杀菌灯和过滤系统组成消毒效果更好，不仅可以将抽吸入消毒器的空气中的微生物杀灭，而且可有效过滤去除空气中的尘埃。一般在开启20～30分钟后即可达到消毒要求（根据机器循环风量、紫外线杀菌灯功率及房间大小，消毒时间应按照产品说明书安装使用），可实行定时开关机消毒。由于这种消毒器内设置的是低臭氧高强度紫外线杀菌灯，且紫外线杀菌灯隐藏于机器内，因而在消毒时，人可不必离开消毒空间，且安装使用方便，但价格较贵。

到此，以上就是微星自动化小编对于高温等离子清洗的问题就介绍到这了，希望介绍关于高温等离子清洗的3点解答对大家有用。