晶圆等离子清洗设备 半导体等离子清洗设备

晶圆片等离子清洗机可以处理多种尺寸的晶片，大容量，自动化处理。片状清洗等离子清洗机用于消除晶园级设备制造或上游组装过程中所产生的污染物。不管是哪种情况，清洁产品以去除氟，氧化物或是金属的污染。

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