硅片等离子清洗机 硅片等离子清洗机原理

Kimberlite等离子清洗设备。1，清洗时间短，反应速度快：在气体放电瞬间发生等离子体反应，改变表面的性质可能就需要几秒；2，等离子清洗温度低或接近常温，不会对材料造成损害；3，等离子体是具有高能量。

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于硅片等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍硅片等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机的介绍
2. 等离子清洗机的清洗原理

一、等离子清洗机的介绍

普特勒电气科技公司专注于等离子技术产品的研发、应用与生产，通过等离子技术的进纳唤步，可以取代原有的低效率、重污染、高成本的生产工艺环节，为各个领域的工艺优化提供更好的方案。

主要技术产品：

低温大气洞银凯射频辉光等离子技术

低温大气射流等离子技术

低温中频真空等离子技术

低温射频真空等离子技术

PTL--普特勒低温大气射频辉光等离子技术

PTL普特勒公司通过多年射频电源的研发经验及对放电控制技术深入实验，成功实现了在大气压下的射频均匀辉光放电，使射频辉光放电不再需要真空状态，实现了最大2000mm的宽幅均匀辉光放电，并在多个领域实现应用。系统使用方便、性能稳定、低耗高效。

PTL-普特勒低温大气射频辉光等离子系统的应用领域

FPD 方面

LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。

TSP 方面

触摸屏的主要工艺的清洗，提高OCA/OCR，压层，ACF，AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力，为去除气泡/异物，通过搏念多种大气压等离子形态的运用，可以将各种玻璃，薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。

半导体 方面

半导体成型工艺，刻模工艺&焊接工艺，焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力，和引线框架的安装和粘接力，板材和焊球之间的粘结力。防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 ，可以采用多元系统技术。另外，因为可以根据硅片的大小制造大气压等离子，无论多小的等离子都可以适用。

二、等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机工作原理分析：

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特贺枣殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

给气态物质更多的能量，比如加热，将会形成等离子体。当到达等离子状态时，气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。这些裂变不是永久的，一旦用于形成等离子体的能量消失，各类粒子重新结合，形成原来的气体分子。与湿法清洗不同，等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看，等离子体清洗也是所有清洗方法中最为彻底的剥离式的清洗方式。

等离子猜拍败清洗机一般是利用激光、微波、电晕穗颤放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。

等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机是一种全新的高科技技术，利银早用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。 等离子清洗机的清洗原理：等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。等离子处理器主要应用于印刷包装行业、电子行业、塑胶行业、家电行业、汽车工业、印刷及喷码行业，在印刷包装行业可直接与全自动糊盒机联机使用。等离子体主要用来对覆膜、UV上光、高分子、金属、半导体、橡胶、塑胶、玻璃、PCB电路板等各类复杂材料进行表面处理，提高表面附着力，使产品在粘胶、丝印、移印、喷涂上达到最佳效果等离子处理机。

1.喷射出的等离子体流为中性，不带电 ，可以对各种高分子、金属、半导体、橡胶、PCB电路板等材料进行表面处理。

2.等离子表面处理器处理后去除了碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂，有利于粘结、性能持久稳毕拆定，保持时间长。

3.温度低、适合运用于那些表面材料对温度敏感的制品。

4.不需要箱体，可以直接安装在生产线上，在线运行处理。相对与磨边机的反向运行，大大提高了工作效率。

5.只消耗空气和电，因此运行成本低，操作更安锋数雀全。

6.干式方法处理无污染，无废水，符合环保要求；并且替代了传统的磨边机，杜绝了纸粉纸毛对环境及设备的影响。

7.经等离子表面处理器处理后，可采用普通胶水来粘盒，降低了生产成本。

到此，以上就是微星自动化小编对于硅片等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于硅片等离子清洗机的2点解答对大家有用。