半导体等离子清洗机 半导体等离子清洗机参数选择

等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于半导体等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍半导体等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机进口品牌
2. 等离子清洗机有哪些应用
3. 等离子清洗机的清洗原理

一、等离子清洗机进口品牌

　　等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。这些品牌在全球半导体产业中都占据着一定的市场份额。

　　作为等离子清洗机厂家，Lam Research在半导体制造设备领域拥有着重要的地位，其等离子清洗机产品线非常丰富，可以满足不同规模的半导体设备生产需求。同时，该公司的产品在清洗技术上始终处于行业领先地位，可为客户提供高品质清洗解决方案。

　　PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清洗机产品在全球范围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

　　以上品牌只是等离子清洗机市场中最有代表性的品牌之一，当前市场上还有许多其他品牌，如何选择适合自己的品牌则需要客户根据自身需求做出选择。

二、等离子清洗机有哪些应用

一提到等离子清洗机，可能许多人都会觉得生疏，实际上，等离子清洗机不仅可以去除表面污垢，还可以对物体表面进行改性，在工业领域运用广泛，那么，等离子清洗机有哪些应用呢？接下来就由PChouse带大家了解一下吧。
1、FPC和PCB手机通过等离子体清洗，可以去除残胶。
2、照相机和指纹识别工业：软硬结合金PAD通过等离子体清洗表面去氧化，使表面得到高效清洁。
3、等离子体清洗可以用于半导体IC封装领域处理，提升封装质量。
4、等离子体在聚合体、塑料、硅胶领域，可以使表面粗化、腐蚀和活化。
5、TFE（铁氟龙）高频微波板在铜的高频沉铜前的孔壁表面改性活化：提高孔壁与镀铜层结合力，杜绝铜沉铜后黑孔;消除孔铜和内层铜高温断裂爆孔等现象，提高产品可靠性。
6、在BGA安装之前，对PCB上的进行等离子表面处理，可以使Pad表面清洁、粗化和活化，大大提高BGA的贴装率。
7、在手机硬件的中框上添加塑料绝缘层或防水层，先经等离子体清洗，然后装入注塑机上的塑料绝缘层或防水层，用等离子清洗绝缘层和五金件才贴好，不易分离，每部手机中框都要经过等离子清洗。

等离子清洗机也能对金属植入体产生作用。金属植入体在实际的应用中会通过介入或者外科手术方法，将其置入身体的不同组织内，通过这种方法能够起到器官替代物的作用，小到牙齿，大到骨骼关节，都能使用得到它。而对其表面的处理，让它能够正常使用是非常重要的，而现在多会选择等离子表面处理

虽然金属植入体看起来像是一种科技含量较高的产物，让人以为它是近代兴起的一种治疗手段，但其实它的历史已经很久了，而且对它的研究几百年间一直没有中断过。金属材料的植入体作为生物医用功能材料已经有了400余年的历史了，它作为材料科学的一个重要分支，英国较早地就使用纯金板修补颅骨、镶牙，后来陆续使用了银、铁片、铁丝等用于骨折关节的固定物。再往后随着医学的发展，才逐渐出现了使用金属植入人体的临床治疗方法。

金属植入体是与人的生命和健康密切相关的特殊的功能材料，在早期由于医疗卫生不好医疗水平跟不上的条件下，其卫生健康和工艺标准一直都是需要克服的难题。如今随着等离子表面处理方式的出现，能够一改往日那些经常感到困扰的问题。

对于等离子表面处理来说，创造一个无菌的环境是非常容易的，因为既然金属植入体需要充当器官替代物的作用，那就说明它也要在人体内待上不少时间，对于这类外类植入物，无菌的环境可以说是一定要实现的工艺要求。

另外等离子表面处理还能增强细胞的粘附力，让细胞与金属植入体之间更亲和。这样一来可以使得当金属植入体进入人体后，让细胞进行快速地生长，同时也意味着它能够更快地与体内其他组织相匹配，成为真正意义上的器官替代物。

医疗技术发展到如今，不管是卫生条件还是技术本身都有了长足的进步，使用等离子表面处理的方式进行处理加工也是随着技术发展所带来的新型选择，因为相比于传统手段而言它是一种更安全更有保障的处理手段。

三、等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

在这种情况下，等离子处理可以产生以下效果：

1、灰化表面有机层

污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发，污染物被高能离子粉碎并被真空带走。

紫外辐射破坏污染物，由于等离子体处理每秒钟只能穿透几纳米，所以污染层不应该太厚。指纹也适用。

2、氧化物去除

这种处理包括使用氢或氢和氩的混合物。有时也采用两步流程。第一步是用氧气氧化表面5分钟，第二步是用氢和氩的混合物除去氧化层。它也可以同时用几种气体处理。

3、焊接

通常，印刷电路板应在焊接前用化学药剂处理。焊接后，这些化学物质必须用等离子体法去除，否则会引起腐蚀和其他问题。

扩展资料

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长。

受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。

利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

参考资料来源：百度百科-等离子清洗机

到此，以上就是微星自动化小编对于半导体等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于半导体等离子清洗机的3点解答对大家有用。