等离子清洗机 等离子清洗机原理

等离子清洗机有以下作用：等离子表面活化/清洗；等离子蚀刻/活化；等离子去胶；等离子涂镀（亲水，疏水）；增强邦定性；等离子灰化和表面改性等大规模生产场合，通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力。

大家好，今天微星自动化（http://wxdcn.com/）小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了5个相关介绍等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机的作用是什么?
2. 等离子清洗机
3. 晶圆等离子清洗的利弊
4. 等离子清洗机可以清洗玻璃吗,等离子清洗玻璃的原理是什么?
5. 在线式等离子清洗机和离线等离子清洗机相比,性能指标怎么样,在线式等离 ...

一、等离子清洗机的作用是什么?

等离子清洗机的作用最主要就是应用于实验室以及医疗等领域，比如说对于实验室的一些精密仪器，再进行清答改洗的时候，如果选择普通的清洗剂，很有可能会造成仪器失备悄灵，因此很多领域在清滚判选择清洗机的时候会优先考虑微星这个品牌的离子清洗机。

二、等离子清洗机

Kimberlite等离子清洗设备。

1，清洗时间短，反应速度快：在气体放电瞬间发生等离子体反应，改变表面的性质可谨盯能就需要几秒；

2，等离子清洗温度低或接近常温，不会对材料造成损害；

3，等离子体是具有高能量，无需添加催化剂即可实现的反应，达到表面改性效果；

4，应用范围广，对处理对象无要求，均可进行表面性能改造；

5，等离子清洗有效控制企业的成本，易操作，可连续运行无需24小时看管散卖；

6，最后一点，也是非常重要的一祥掘和点。等离子清洗相比传统清洗更环保，不使用氯代烃清洗剂、水基清洗剂和碳氢溶剂等，不仅具有毒性、水处理繁琐、清洗效果较差以及不易干燥安全性。

这个比较好 ！

三、晶圆等离子清洗的利弊

清洗分为湿法清洗和干法清洗。等离子清洗属于后者，主要用于去除晶圆表面不可见的表面污染物。在清洗过程中，首先将晶圆放入的真空反应室并进行排气。达到一定后，引入反应气体。这些反应性气体被电离形成等离子体，产生化学品和化学品。物理反应发生在晶圆表面，产生的挥发物被抽出，使晶圆表面保持清洁和亲水。

1.晶圆清洗等离子清洗机：

1-1：

晶圆的等离子清洗在 0 级或更高级别的洁净室中进行，这需要非常高的颗粒。额外的颗粒会在晶片中产生无法修复的缺陷。因此，设计等离子清洗机的腔体必须首先由铝制成，而不是不锈钢。用于放置晶片的支架的滑动部分应由灰尘较少且不易被等离子体腐蚀的材料制成。电极和支架易于拆卸和维护。

1-2：

反应室内的电极间距、层数、气路分布对晶圆加工的均匀性有很大影响。这些指标需要通过不断的实验来优化。

1-3: 1-3:

在等离子清洗晶圆的过程中会积累一些热量。等离子清洗机电极通常采用水冷方式，因为电极板的温度必须保持在一定范围内。

1-4

多层电极等离子清洁器具有相对较高的容量，允许根据需要将多个晶片放置在每个支架上。它适用于去除半导体专用的 4 英寸和 6 英寸晶圆上的光。分立器件和电力雕刻底膜。

然后等离子清洗机用于晶圆级封装的预处理：

2-1：

晶圆级封装（WLP）是一种先进的芯片封装方法。也就是说，整个晶圆被制造出来，然后直接封装在晶圆上。然后将整个晶圆切割成单独樱茄的管芯。没有引线键合或灌封，因为使用铜凸块代替引线键合进行电气连接。

2-2：

晶圆级封装预处理的目的是去敬腔除表面，减少氧化层，增加铜，提高产品可靠性。

2-3：

根据产能需要，晶圆级封装预处理等离子清洗机的真空反应室设计、电极结构、气流分布、水冷、均匀性等方面会有很大差亮颂衫异。

2-4：

芯片制作完成后，残留的不能用湿法清洗，只能用等离子去除。但是，光刻胶的厚度无法确定，必须调整相应的工艺参数。

四、等离子清洗机可以清洗玻璃吗,等离子清洗玻璃的原理是什么?

手机制造过程中，玻璃盖板、手机盖板、显示屏等光学材料表面常常会有油污、蜡、指纹、油脂等残留的有机污染物。这些残留的污染物的存在不利于进行镀膜、喷涂、印刷、粘接、焊接等工艺处理，因此在进行下一步工序前，都需要将这些污染物清洗干净来确保后续的工艺质量。

玻璃盖板采用超声波清洗通常会残留一些肉眼看不见的有机物和微粒，这无疑会对下一步工艺的进行埋下隐患。等离子清洗机能让玻璃盖板清洗得更加彻底，对玻璃盖板表面的主要清洗作用是活化，能使有机污染物化学反应成碳氢化合物，生成二氧化碳和水从玻璃盖板表面除去，促进下一步蚀刻、涂覆、粘接等工艺，大大提高了产品良率。

玻璃盖板镀膜也称玻璃盖板喷涂、镀膜应用于5G行业，涵盖手机盖板镀膜、玻璃盖板镀膜、显示屏镀膜、保护片镀膜、光学材料镀膜等。玻璃盖板镀膜可以使玻璃盖板、背板更漂亮，还能起到抗指纹、防炫光、抗紫外线、耐酸碱、抗氧化的作用。

等离子预处理是采用等离子表面处理机（一般为低温常压旋转喷头等离子表面处理机）在AF、AS、AG、AR镀膜（喷涂）工艺前，对基材表面进行精细化清洗、蚀刻和活化，可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于喷涂药水的附着牢固和厚薄均匀。

等离子清洗技术在处理中具有如下优势：

（1）环保节能。相比于传统湿法清洗技术，等离子清洗技术使干式工艺，不消耗水和化学试剂，省能源、无污染

（2）具有在线生产能力，能实现全自动化处理，处理时间短，效率高，成本低

（3）不分处理基材类型，均可进行处理，能处理形状较复杂的材料册拦，材料表面处理的均匀性好。

（4）对材料表面的作用仅涉及到纳米级处理，可在保持处理材料原本特效的同时，赋予其另一种新的功能

（5）处理裤旅温度低，不对材料表面造州纯胡成损害，特别适合处理高分子材料

五、在线式等离子清洗机和离线等离子清洗机相比,性能指标怎么样,在线式等离 ...

离线等离子清洗机普遍指的是离线真空等离子清洗机，应用非常广泛，是现在等离子市场上面的主流产品，离线真空等离子方便调整参数工艺，温度低，产能大，成本低，可以清洗各种配件材料，用于精密电子元件、声学器件、滤光片、摄像模组、指纹识别、半导体封装、MEMS、汽车内饰、医疗器械、纳米新材料、航空航天、科研军工等领域。

离线真空等离子清洗机

离线真空等离子清洗机对于塑胶、玻璃、金属、高分子聚合物等材料表面的有机物去除、无机物清洗、表面活化、表面刻蚀以及接枝等微观处理是不可或缺的工艺设备！

在线等离子清洗机分两种，一种是大气压在线等离子清洗机；还有一种是在线真空等离子清洗机；

在线大碰友气压等离子清洗机

大气压式在线等离子清洗机，也是低温等离子处理设备，不会对资料外表形成危害。无电弧，无需真空腔体，也无需有害气体吸出体系，应用非常广泛。

大气压式等离子处理机处理材料 面积平整，或者只处理某个点。大气压等离子清洗机能够处理2m宽的材料，能够满意现有大都工业材料的外表处理需求，其价格比真空等离子要低。不过参数没有那么好控制，而且处理不了异形件，不能对很多异形件做全方位的处理 

在线真空等离子清洗机

在线真空等离子清洗机和离线真空等离子清洗机相比，在线真空裂吵棚等离子产能没有那么高，在线真空等离子因为一次清洗的量小肆则，属于更高精度的清洗方式，比离线真空等离子清洗更加彻底全面。离线真空一次清洗就是一大批，免不了里面还有几个配件没有100%达到要求，但是在线等离子清洗机就是一次一个或者一次几个的清洗，清洗的效果更好

 

在线真空等离子也可以把产能做的很大，不过相应的机器成本也会成倍提升。在线真空等离子清洗机适合于对清洗精度高，但是量不是很大的行业，如led支架等就有一些用在线真空等离子，鞋机也是用在线真空等离子。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子清洗机的5点解答对大家有用。