等离子清洗装置(等离子清洗装置罗茨真空泵功能)

等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。在这种情况下。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子清洗装置的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子清洗装置的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机的清洗原理
2. 等离子清洗机的结构
3. 等离子清洗机应用领域及作用

一、等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，型扒通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

在这种情况下，等离子处理可以产生以下效果：

1、灰化表面有机层

污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发，污染物被高能离子粉碎并被真空带走。

紫外辐射破坏污染物，卜磨昌由于等离子体处理每秒钟只能穿透游胡几纳米，所以污染层不应该太厚。指纹也适用。

2、氧化物去除

这种处理包括使用氢或氢和氩的混合物。有时也采用两步流程。第一步是用氧气氧化表面5分钟，第二步是用氢和氩的混合物除去氧化层。它也可以同时用几种气体处理。

3、焊接

通常，印刷电路板应在焊接前用化学药剂处理。焊接后，这些化学物质必须用等离子体法去除，否则会引起腐蚀和其他问题。

扩展资料

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长。

受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。

利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

参考资料来源：百度百科-等离子清洗机

二、等离子清洗机的结构

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分仿销组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。就以下三个部分做一个陈述：

一、控制单元：

目前国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子，主要的功能作用，前面已经提到了，这里就不一一介绍了。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

二兄脊、真空腔体：

真空腔体主要是分为两备尘游种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。

三、真空泵：

真空泵分为两种：1）干泵 、2）油泵

以下为等离子清洗机面板按钮和背面结构：

等离子技术是最开始从国外发展起来的，所以国外品牌肯定是出众的，但是相对旁册价格来说也比较贵，所以结合性价比等综合因素我就来给大家说说国内的几家不错等离子厂商，等离子高新厂商主要集中在江苏，广东地区，比如珠海的态蔽宝丰堂，昆山的微星，深圳的大族激光，他们都各自有自己的优势。特别是大族激光科技股份有限公司，是个上市企业。特别它的激光在世界都是前沿，在等离子这方面成立也比较早，大气，真空的帆启州都做得挺不错的。

三、等离子清洗机应用领域及作用

　　等离子清洗机应用领域及作用原理

　　一、金属表面去油及清洁

　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

　　1.1灰化表面有机层

　　-表面会受到化学轰击(氧 下图)

微星等离子清洗机

　　-在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

　　-污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出

　　-紫外辐射破坏污染物

　　因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

　　1.2氧化物去除

　　金属氧化物会与处理气体发生化学反应(下图)

　　这种处理要采用氢气或兄神者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

　　1.3焊接

　　通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

　　1.4键合

　　好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

　　二、等离子刻蚀

　　在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。

　　等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM

、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

　　三、刻蚀和灰化

　　PTFE刻蚀

　　PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法者尘戚不仅仅保护环境，还能达到更好效果。(下图)

　　等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。

　　PTFE混合物的刻蚀

　　PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。

　　处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

　　四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

　　塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。

　　· 不需要用溶剂进行预处理

　　· 所有的塑料都能应用

　　· 具有环保意义

　　· 占用很小工作空间

　首陵　· 成本低廉

　　等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理(大于15分钟)，材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等

　　五、等离子涂镀

　　聚合

　　在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。

常用的有3种情况

　　· 防水涂镀—环己物

　　· 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体

　　· 亲水涂镀---乙烯醋酸

　　小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点， 与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洁小型机具有以下优点:

　　1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。

　　2、不会对人员的身体造成任何伤害。

　　3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

　　小型等离子设备广泛应用于等离子清洗和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

　　其具体应用包括：

　　1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

　　玻璃、陶瓷和塑料(如聚丙烯、PTFE等)基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。

　　2、金属去油及清洁

　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

　　焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

　　键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

　　特 点：

　　· 操作简便、成本低廉

　　· 高效真空电极

　　· 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制

　　· 功率可在200W以内调节控制(完全能够能够满足清洁需要，200W以上功率用于刻蚀)

　　· 自动阻抗匹配

　　· 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

　　· 安全保护功能：真空触发、舱门锁

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子清洗装置的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子清洗装置的3点解答对大家有用。