plasma等离子体清洗机(plasma等离子清洗机的原理)

PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清洗机产品在全球范围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于plasma等离子体清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍plasma等离子体清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机进口品牌
2. plasma等离子清洗设备平时怎么保养?
3. 等离子清洗机的介绍

一、等离子清洗机进口品牌

　　等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很哪早多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。这些品牌在全球半导体产业中都占据着一定的市场份额。

　　作为等离子清洗机厂家，Lam Research在半导体制造设备领域拥有着重要的地位，其等离子清洗机产品线非常丰富，可以满足不同规模的半导体设备生产需求。同时，该公司的产品在清洗技术上始终处于行业领先地位，可为客户提供高品质清洗解决方案。

　　PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清李慎雀洗机产品在全球范孝键围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

　　以上品牌只是等离子清洗机市场中最有代表性的品牌之一，当前市场上还有许多其他品牌，如何选择适合自己的品牌则需要客户根据自身需求做出选择。

二、plasma等离子清洗设备平时怎么保养?

等离子清洗机保养

1、检查电源连接

电压是否与设备匹配

（设备的电压为220V）。

2、检查输气管道的完整性及真空密封性

定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之枯宏谈后，以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

检查各管路是否连接紧固，老化等问题。

3、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。

其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。

4、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观绝携察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰没碰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪 音异常，则及时更换真空油。

归纳起来就是：清洁、紧固、检查、补充。

一、清洁

空气中含有大量灰尘、泥沙和酸性物质，不仅容易被泄漏的燃油黏附，在高温烘烤下容易形成坚硬的保温层，使机件的散热性能变差，而且容易被车身静电吸而侵蚀油漆面，使其过早褪色。

1、清洁让配空气滤清器

空气滤清器过脏会陡阻碍新鲜空坦裂指气进入汽缸，导致合气过浓、燃烧不完全、功率下降、排气超标。现代空气滤清器一般都采用纸质滤芯，清洁时注意：不用水或油洗，应采用轻拍法和吹洗法。轻源世拍法即轻轻拍打滤芯端面，使灰尘脱落。吹洗法即用压缩空气滤芯内部往外吹洗，空气压力：力不应超过0.3N/Pa

2、清洁机油滤清器

机油滤淆器堵塞，会阻碍润滑油的流动，使发动机润滑不良、磨损加大甚至烧瓦等。为此，应定期清洗或更换。通常每行驶8000km更换一次，若气候干。应缩短为5 000km更换一次。

3、清洁蓄电池

现代轿车一般都采用免维护蓄电池，首先清洁蓄电池顶部，避免极柱间因电解液或其他杂质而造成短路；其次清洁蓄电池接线柱，防止接头产生氧化物而导致接触不良。通气孔应畅通，以免蓄电池内压力或温度过高而使手爆裂。

三、等离子清洗机的介绍

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液并盯气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“虚竖活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分差蔽大的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

普特勒电气科技公司专注于等离子技术产品的研发、应用与生产，通过等离子技术的进纳唤步，可以取代原有的低效率、重污染、高成本的生产工艺环节，为各个领域的工艺优化提供更好的方案。

主要技术产品：

低温大气洞银凯射频辉光等离子技术

低温大气射流等离子技术

低温中频真空等离子技术

低温射频真空等离子技术

PTL--普特勒低温大气射频辉光等离子技术

PTL普特勒公司通过多年射频电源的研发经验及对放电控制技术深入实验，成功实现了在大气压下的射频均匀辉光放电，使射频辉光放电不再需要真空状态，实现了最大2000mm的宽幅均匀辉光放电，并在多个领域实现应用。系统使用方便、性能稳定、低耗高效。

PTL-普特勒低温大气射频辉光等离子系统的应用领域

FPD 方面

LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。

TSP 方面

触摸屏的主要工艺的清洗，提高OCA/OCR，压层，ACF，AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力，为去除气泡/异物，通过搏念多种大气压等离子形态的运用，可以将各种玻璃，薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。

半导体 方面

半导体成型工艺，刻模工艺&焊接工艺，焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力，和引线框架的安装和粘接力，板材和焊球之间的粘结力。防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 ，可以采用多元系统技术。另外，因为可以根据硅片的大小制造大气压等离子，无论多小的等离子都可以适用。

到此，以上就是微星自动化小编对于plasma等离子体清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于plasma等离子体清洗机的3点解答对大家有用。