微星自动化提供各类等离子表面处理机,包括真空、低温、大气等多种型号,为您解决金属表面处理难题,满足不同需求。
微星自动化 2023-10-09 08:58 78
等离子处理是最有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一,可以用于处理各种材料,包括塑料、金属或者玻璃等。等离子处理机对表面清洗,可以清除表面上的脱模剂和添加剂等,而其活化过程。
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等离子表面处理利用了等离子体在低温条件下能够产生非平衡电子、反应离子和自由基的特性。等离子体中的高能活性基团轰击表面,会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。
物理溅射的过程中,等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移,在某些情况下,还会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。
物理溅射的过程中,等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移,在某些情况下,还会造成次表层上原子的移位,因此物理溅射没有选择性。在化学刻蚀的过程中,等离子体中的活性基团和表面原子,分子发生反应,产生的挥发性物质可以通过泵抽走。在等离子刻蚀过程中,通过选择不同的工艺参数,可以对不同材料实现高选择性的化学反应刻蚀,然而这种方法对同一种材料的刻蚀是各向同性的。在离子增强刻蚀中,高能粒子撞击表面时,会在表面形成缺陷、位错或悬浮,这些缺陷提高了表面的化学反应刻蚀速率,使这种刻蚀过程同时具备可选择性和方向性。
在所有的这些清洗过程中,在碳氢化合物与衬底之间的键合被削弱,获得的能量使这些有机复合物从衬底上脱离。一旦脱离有机化合物分子基团就会被惰性气体带走。等离子体所产生的光辐照、中性粒子流和带电粒子轰击为结合键的断裂提供了能量。这些能量首先被碳氢化合物吸收后,在各种形式的二次过程中又被消耗掉。正是这些各种形式的二次过程实现了表面清洗的效果。在等离子体中存在大量的紫外线辐照,能量被聚合物吸收后,产生了化学性质非常活跃的自由基,这些自由基和容易与等离子体中的气体发生发生反应,产生挥发性气体。在等离子体中,快离子与中性粒子碰撞后产生的中性自由基不断地轰击样品表面,以动能、振动‘解离和激发态的模式在中性粒子之间进行电荷交换和能量传递。运动动能和振动动能以一种温和的方式加热表面,解离和激发态产生的自由基以平动或振动的方式传递热量。如果能量超过阈值,则可能导致溅射,并伴随着自由基团的产生。
处理明显的类似于机械的方法去除表面污染物溅射过程外,等离子体中的自由基是最重要的去除碳氢化合物的因素。这些自由基包括O、OH、H和C自由基。具体的清洗过程与实际存在的碳水化合物特性密切相关。下面是自由基清洗过程的概要方程式
RH→P*+H*
RO→P*+O*
ROH→P*+OH*
其中,RH、RO、ROH代表各种碳水化合物,它们与H、OH和O自由基团结合后形成低能的化学键,P*代表反应产物。等离子体中的部分能量传递给H键、OH键或者O键后,这些化学键将被打断,并形成自由基,一旦这些自由基形成后(H,O,OH),就能够和其他的元素结合形成气化的CO、二氧化碳,和水,这些气体就很容易被气流从表面带走。很显然,在碳氢化合物的分解过程中存在很多的中间步骤,最终,原先的碳氢化合物中所含的C、H、和O都被变成气体后,也就随即从样品表面消失。
东信高科等离子表面处理解决方案
等离子体表面处理仪是什么?等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
等离子体表面处理仪的工作原理:首先,我们来说一下什么叫做等离子体。等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间,空间物理,地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。
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按等离子体温度可将等离子体分为高温等离子体和低温等离子体,而低温等离子体又可分为热等离子体和冷等离子体。
低温等离子体设备处理主要特点:材料表面清洗活化改性提高粘接附着力等。湿洗法清洗,表面都会有残留,只有低温等离子体表面处理才能做到彻底的净化,得到超高洁净度的表面,且低温等离子体只对材料纳米级的表面起作用,不会改变材料原有的特性,在对表面洁净度要求较高的工艺中,正在取代湿法处理工艺而得到广泛使用。
等离子清洗机清洗原理是,通过利用等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起会产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗目的。
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
到此,以上就是微星自动化小编对于等离子体表面处理的问题就介绍到这了,希望介绍关于等离子体表面处理的4点解答对大家有用。
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