plasma等离子体清洗机

PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清洗机产品在全球范围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于plasma等离子体清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍plasma等离子体清洗机的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机进口品牌
2. plasma等离子清洗设备平时怎么保养?
3. 等离子清洗机的介绍

一、等离子清洗机进口品牌

　　等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。这些品牌在全球半导体产业中都占据着一定的市场份额。

　　作为等离子清洗机厂家，Lam Research在半导体制造设备领域拥有着重要的地位，其等离子清洗机产品线非常丰富，可以满足不同规模的半导体设备生产需求。同时，该公司的产品在清洗技术上始终处于行业领先地位，可为客户提供高品质清洗解决方案。

　　PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清洗机产品在全球范围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

　　以上品牌只是等离子清洗机市场中最有代表性的品牌之一，当前市场上还有许多其他品牌，如何选择适合自己的品牌则需要客户根据自身需求做出选择。

二、plasma等离子清洗设备平时怎么保养?

等离子清洗机保养

1、检查电源连接

电压是否与设备匹配

（设备的电压为220V）。

2、检查输气管道的完整性及真空密封性

定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

检查各管路是否连接紧固，老化等问题。

3、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。

其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。

4、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪 音异常，则及时更换真空油。

归纳起来就是：清洁、紧固、检查、补充。

一、清洁

空气中含有大量灰尘、泥沙和酸性物质，不仅容易被泄漏的燃油黏附，在高温烘烤下容易形成坚硬的保温层，使机件的散热性能变差，而且容易被车身静电吸而侵蚀油漆面，使其过早褪色。

1、清洁空气滤清器

空气滤清器过脏会陡阻碍新鲜空气进入汽缸，导致合气过浓、燃烧不完全、功率下降、排气超标。现代空气滤清器一般都采用纸质滤芯，清洁时注意：不用水或油洗，应采用轻拍法和吹洗法。轻拍法即轻轻拍打滤芯端面，使灰尘脱落。吹洗法即用压缩空气滤芯内部往外吹洗，空气压力：力不应超过0.3N/Pa

2、清洁机油滤清器

机油滤淆器堵塞，会阻碍润滑油的流动，使发动机润滑不良、磨损加大甚至烧瓦等。为此，应定期清洗或更换。通常每行驶8000km更换一次，若气候干。应缩短为5 000km更换一次。

3、清洁蓄电池

现代轿车一般都采用免维护蓄电池，首先清洁蓄电池顶部，避免极柱间因电解液或其他杂质而造成短路；其次清洁蓄电池接线柱，防止接头产生氧化物而导致接触不良。通气孔应畅通，以免蓄电池内压力或温度过高而使手爆裂。

三、等离子清洗机的介绍

等离子清洗机，是不是什么脏东西都能洗掉？到底是洗什么？对于这类问题我相信很多刚接触等离子清洗机的人都会想到，所以在这里我们有必要说明一下。

等离子清洗机，又名电浆机，等离子表面处理设备。光从名称上来看，清洗并不是清洗，而是处理和反应。从机理上看：等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中，物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。

我们的工作气体，经常用到氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）、甲烷（CF4）等。在等离子清洗机过程中很容易对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等进行处理。这样以来让我们很容易联想到：去除零件上的油污，去除手表上的抛光膏，去除线路板上的胶渣，去除DVD上的水纹等等所延伸的领域大都能用等离子清洗机解决。

但是，“洗表面“才是等离子清洗机技术的核心，这一核心也是现在众多企业之所以选择微星等离子清洗机的重点。”洗表面“跟电浆机和等离子表面处理设备这两个名字密切相联。简单的来说清洗表面就是在被处理材料表面打出无数个肉眼看不到的小孔，同时在表面形成一个新的氧化层薄膜。这样大大增加了被处理材料的表面积，间接性的增加了材料表面的粘附性、相容性、浸润性、扩散性等等。而这些性能又恰当的应用在手机，电视，微电子，半导体，医疗，航空，汽车等各行各业中，为众多企业解决多年未曾解决的难题。

所以，等离子清洗机并不是什么脏东西都能洗掉，它是比较针对性的去除某些物质和材料表面改性处理。

到此，以上就是微星自动化小编对于plasma等离子体清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于plasma等离子体清洗机的3点解答对大家有用。