等离子体表面处理系统

等离子表面处理原理就是等离子温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子体表面处理系统的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子体表面处理系统的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 各位大虾,谁知道等离子表面处理是什么原理,请详细点
2. 什么是等离子体表面处理仪?
3. 关于等离子体和等离子表面处理

一、各位大虾,谁知道等离子表面处理是什么原理,请详细点

等离子表面处理利用了等离子体在低温条件下能够产生非平衡电子、反应离子和自由基的特性。等离子体中的高能活性基团轰击表面，会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。

物理溅射的过程中，等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移，在某些情况下，还会造成溅射、热蒸发或光致降解。等离子体特有的清洗过程主要是基于等离子体溅射和刻蚀所带来的物理和化学变化。

物理溅射的过程中，等离子体中高能量离子脉冲式的表面轰击会导致表面原子发生位移，在某些情况下，还会造成次表层上原子的移位，因此物理溅射没有选择性。在化学刻胡尘蚀的过程中，等离子体中的活性基团和表面原子，分子发生反应，产生的挥发性物质可以通过泵抽走。在等离子刻蚀过程中，通过选择不同的工艺参数，可以对不同材料实现高选择性的化学反应刻蚀，然而这种方法对同一种材料的刻蚀是各向同性的。在离子增强刻蚀中，高能粒子撞击表面时，会在表面形成缺陷、位错或悬浮，这些缺陷提高了表面的化学反应刻蚀速率，使这种刻蚀过程同时具备可选择性和方向性。

在所有的这些清洗过程中，在碳氢化合物与衬底之间的键合被削弱，获得的能量使这些有机复合物从衬底上脱离。一旦脱离有机化合物分子基团就会被惰性气体带走。等离子体所产生的光辐照、中性粒子流和带电粒子轰击为结合键的断裂提供了能量。这些能量首先被碳氢化合物吸收后，在各种形式的二次过程中又被消耗掉。正是这些各种形式的二次过程实现了表面清洗的效果。在等离子体中存在大量的紫外线辐照，能量被聚合凳孙物吸收后，产生了化学性质非常活跃的自由基，这些自由基和容易与等离子体中的气体发生发生反应，产生挥发性气体。在等离子体中，快离子与中性粒子碰撞后产生的中性自由基不断地轰击样品表面，以动能、振动‘解离和激发态的模式在中性粒子之间进行电荷交换和能量传递。运动动能和振动动能以一种温和的方式加热表面，解离和激发态产生的自由基以平动或振动的方式传递热量。如果能量超过阈值，则可能导致溅射，并伴随着自由基团的产生。

处理明显的类似于机械的方法去除表面污染物溅射过程外，等离子体中的自由基是最重要的去除碳氢化合物的因素。这些自由基包括O、OH、H和C自由基。具体的清洗过程与实际存在的碳水化合物特性密切相关。下面是自由基清洗过程的概要方程式

RH→P*+H*

RO→P*+O*

ROH→P*+OH*

其中，RH、RO、ROH代表各种碳水化合物，它们与H、OH和O自由基团结合后形成低能的化学键，P*代表反应产物。等离子体中的部分能量传递给H键、OH键或者O键后，这些化学键将被打断，并形成自由基，一旦这些自由基形成后（H，O，OH），就能够和其他的元素结合形成气化的CO、二氧化碳，和水，这些气体就很容易被气流从表面带走。很显然，在碳氢化合物的分解过程中存在很多的中间步骤，最终，原先的碳氢化合物中枣做链所含的C、H、和O都被变成气体后，也就随即从样品表面消失。

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二、什么是等离子体表面处理仪?

等离子体表面处理仪是什么？等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。

等离子体表面处理仪的工作原理：首先，我们来说一下什么叫做等离子体。等离子体又叫做电浆，迅灶派是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视辩祥为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间，空间物理，地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。

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三、关于等离子体和等离子表面处理

众所周知，固体，液体大春咐和气体是物质的三种常见状态。我们可以通过增加或减少能量(例如加热/冷却)在两种状态之间移动。如果我们继续增加足够的能量，气体分子将被电离（失去一个或多个电子），并因此携带净正电荷。如果将足够多的分子离子化，以影响气体的整体电学特性，则该结果称为等离子体。因此，等离子通常被称为物质的第四态。

物质由分子构成，分子由原子构成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子构成。当被加热到足够高的温度或其他原因，外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子，滚纯就像下课后的学生跑到操场上随意玩耍一样。电子离开原子核，这个过程就叫做“电离”。这时，物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的、一团均匀的“浆糊”，因此人们戏称它为离子浆，这些离子浆中正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。

什么是等离子表面处理？

等离子表面处理技术是采用等离子表面处理设备对材料表面进行一定的物理化学改性，提高表面附着力。利用等离子高能粒子与材料表面发生物理和化学反应, 可以实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理, 以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。

等离子表面处理的作用：

1） 表面清洗： 清洗金属表面油脂、油污、以及肉眼看不到的油脂颗粒等有机物及氧化层。

2） 表面刻蚀： 通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相排出。

3） 表面改性： 以聚四氟乙烯（PTFE）为例，在其未做处理的情况下，不能印刷或粘合。使用等离子处理可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样PTFE就能进行粘合、印刷操作。

4） 表面活化： 主要用于清理塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）、聚甲醛 （POM）、聚苯硫醚(PPS)等无极性材料的。

5） 表面涂镀： 在等离子涂镀中，两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗要求严格得多。典型的应用是形成保护膜，用于燃料容器，防森搜刮表层，类似聚四氟（PTFE）材质的涂镀，防水镀层等。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子体表面处理系统的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子体表面处理系统的3点解答对大家有用。