电镜等离子清洗机_电镜等离子清洗机系统IBSS/Chiaro

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于电镜等离子清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了2个相关介绍电镜等离子清洗机的解答，让我们一起看看吧。

1. 等离子清洗机的常见故障和维修？
2. 等离子清洗机的五大应用原理？

等离子清洗机的常见故障和维修？

一、等离子清洗机不发光

可能原因：1真空泵是否正常运行；2、射频电源主板烧坏；

处理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空压力表值是否达到正常压力值；如不能达到正常压强，则代表气路有漏气需重新检查气路是否固定好；2、打开设备右侧面板，检查射频电源主板绿色灯在设备正常运行下是否亮，如果不亮，请联系东信高科售后人员进行更换。

二、真空泵不工作

可能原因：1、真空泵油不足；2、电机烧坏；3、真空泵磨损；

处理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、请联系我公司客服；

三、清洗效果不良

可能原因：1、等离子功率不够；2、选用不适合的反应气体；

解决措施：1、调节功率旋钮，提高功率；2、工艺气体是否匹配合理；3、咨询我公司客服；

四、真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障

1、出现此情况请首先观察系统参数有无变化，设备突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警；

2、如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况；

3、检查导线是否有断路或短路情况；

4、如无上述异常，请检查真空泵；

五、放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

1、如出现此类报警请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路；

六、真空泵倒计时故障（机械故障），请检查真空泵抽空能力，故障排除点击复位键

1、所处理产品有严重渗气情况，真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空；

2、检查真空门是否关到位；

3、逐级检查真空系统中各连接点，看是否有管道连接不良或损坏；

4、真空泵故障，需检查保养真空泵；

七、真空计故障报警，真空计故障或损坏，请检查并更换真空计

1、检查真空计是否损坏，检查真空计控制线路是否有断路或短路；

八、急停未复位或已按下，请打开急停开关

1、检查急停是否被按下，如没有此情况，请检查急停线路；

九、 CDA压力过低报警（破空气体压力低）

1、此报警为压缩空气气压不足够报警，主要出现于配有高真空气动挡板阀（GDQ）的设备，出现此报警时需检查CDA是否正常供气至设备端；

2、确认供气压力是否过高或过低，减压表的报警值是否设定正确；

3、检查电气线路是否出现断路或短路；

等离子清洗机的五大应用原理？

等离子清洗机是一种利用等离子体技术进行表面处理的设备，它可以去除表面的有机物、氧化物、金属污染等。以下是等离子清洗机的五大应用原理：

等离子清洗：等离子清洗机利用等离子体技术生成高能电子和离子，将其注入到被清洗表面上，通过化学反应和物理作用来清除表面污染物。等离子清洗可以去除表面有机物、氧化物、金属污染等，使得被清洗表面更加干净，提高表面处理效率。

等离子去污：等离子清洗机可以利用等离子体技术产生高能电子和离子，将其注入到被污染物表面上，使得污染物分解为低分子量物质，从而实现去污。等离子去污可以应用于电子器件清洗、半导体器件清洗等领域。

等离子改性：等离子清洗机利用等离子体技术，将高能电子和离子注入到表面，使得表面分子发生化学反应，从而改变表面性质。等离子改性可以应用于表面涂层、表面功能化等领域。

等离子刻蚀：等离子清洗机利用等离子体技术，将高能电子和离子注入到被处理表面上，使得表面分子发生化学反应，从而实现表面的刻蚀。等离子刻蚀可以应用于微电子器件加工、半导体器件加工等领域。

等离子表面活性化：等离子清洗机利用等离子体技术，将高能电子和离子注入到表面上，使得表面发生物理和化学变化，从而增加表面的粘附性和接收性。等离子表面活性化可以应用于涂层前表面处理、接合前表面处理等领域。

到此，以上就是微星自动化小编对于电镜等离子清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于电镜等离子清洗机的2点解答对大家有用。