微星自动化提供各类等离子表面处理机,包括真空、低温、大气等多种型号,为您解决金属表面处理难题,满足不同需求。
微星自动化 2023-09-22 04:52 105
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公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。
公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。目前,公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备三个产品系列,已广泛应用于28nm及以上制程集成电路制造产线。
低温等离子体中的“低温”具体指的是等离子体中的电子温度低.在常压放电中,电子与中性气体粒子频繁碰撞,难以被加速到高能,通常获得低温等离子体,也许这是常压与低温等离子体产生混淆的原因.
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