等离子 表面 清洗机(等离子表面清洗机)

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子 表面 清洗机的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子 表面 清洗机的解答，让我们一起看看吧。

1. 等离子清洗机的常见故障和维修
2. 等离子表面处理设备有哪些
3. 等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机的常见故障和维修

一、等离子清洗机不发光

可能原因：1真空泵是否正常运行；2、射频电源主板烧坏；

处理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空压力表值是否达到正常压力值；如不能达到正常压强，则代表气路有漏气需重新检查气路是否固定好；2、打开设备右侧面板，检查射频电源主板绿色灯在设备正常运行下是否亮，如果不亮，请联系东信高科售后人员进行更换。

二、真空泵不工作

可能原因：1、真空泵油不足；2、电机烧坏；3、真空泵磨损；

处理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、请联系我公司客服；

三、清洗效果不良

可能原因：1、等离子功率不够；2、选用不适合的反应气体；

解决措施：1、调节功率旋钮，提高功率；2、工艺气体是否匹配合理；3、咨询我公司客服；

四、真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障

1、出现此情况请首先观察系统参数有无变化，设备突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警；

2、如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况；

3、检查导线是否有断路或短路情况；

4、如无上述异常，请检查真空泵；

五、放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

1、如出现此类报警请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路；

六、真空泵倒计时故障（机械故障），请检查真空泵抽空能力，故障排除点击复位键

1、所处理产品有严重渗气情况，真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空；

2、检查真空门是否关到位；

3、逐级检查真空系统中各连接点，看是否有管道连接不良或损坏；

4、真空泵故障，需检查保养真空泵；

七、真空计故障报警，真空计故障或损坏，请检查并更换真空计

1、检查真空计是否损坏，检查真空计控制线路是否有断路或短路；

八、急停未复位或已按下，请打开急停开关

1、检查急停是否被按下，如没有此情况，请检查急停线路；

九、 CDA压力过低报警（破空气体压力低）

1、此报警为压缩空气气压不足够报警，主要出现于配有高真空气动挡板阀（GDQ）的设备，出现此报警时需检查CDA是否正常供气至设备端；

2、确认供气压力是否过高或过低，减压表的报警值是否设定正确；

3、检查电气线路是否出现断路或短路；

等离子表面处理设备有哪些

等离子表面处理设备有真空式等离子处理系统，自动式等离子清洗机，喷射型AP等离子处理系统，自动On-Line式AP等离子处理系统，自动On-Line（轴轮式）式等离子处理系统，自动X/Y轴式AP等离子处理系统，可以根据不同的产品选择不同的设备或进行非标设计

等离子清洗机的清洗原理

等离子清洗机是一种利用等离子体进行表面清洗和处理的设备。其清洗原理主要包括以下五个方面：

一、高能粒子冲击

等离子清洗机通过产生高能粒子，如电子、离子和激发态粒子等，对物体表面进行清洗。这些高能粒子具有较高的能量，能够冲击和去除表面的污垢、杂质和氧化物等，从而提高表面的清洁度和活性。

二、紫外线照射

等离子清洗机中的紫外光源能够发射出一定波段的紫外线，对物体表面进行照射。紫外线具有分解有机物、引发自由基和促进化学反应等作用，可以加速表面清洗过程中的化学反应，提高清洗效果。

三、极性气体作用

等离子清洗机通常使用极性气体，如氧气、氮气等，作为清洗气体。极性气体在等离子体中能够产生具有极性的粒子，这些粒子能够与表面污染物发生相互作用，从而去除表面的污垢和杂质。

四、等离子体反应

等离子体是由电子、离子、激发态粒子等组成的电离气体。在等离子清洗机中，这些等离子体会与物体表面发生一系列的化学反应，从而去除表面的污染物和改善表面的润湿性。等离子体反应可以产生一些活性基团，如羟基、羧基等，这些基团能够提高表面的亲水性和化学活性。

五、热效应作用

等离子清洗机中的高能粒子不仅具有动能，还具有热能。这种热能可以加热物体表面，提高其温度，从而增强清洗效果。热效应可以加速表面物质的蒸发和分解，提高表面清洗的效率和速度。

通过以上五个方面的作用，等离子清洗机可以实现高效、环保和无损伤的表面清洗和处理。在工业制造、材料加工、半导体制造等领域中，等离子清洗机被广泛应用于提高材料表面性能、增强材料粘合强度、改善材料润湿性等过程中。

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子 表面 清洗机的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子 表面 清洗机的3点解答对大家有用。