等离子体处理技术_等离子体处理技术的影响因素

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于等离子体处理技术的问题，于是微星自动化小编就整理了3个相关介绍等离子体处理技术的解答，让我们一起看看吧。

1. 等离子的优点和缺点
2. 等离子表面处理机原理
3. 等离子体是怎么形成的

等离子的优点和缺点

优点是等离子表面处理速度高、选择性好和对清洗有机污染物比较有效。

主要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形成污染。

在引线键合工艺中，氧化物是最不希望有的化学清洗是利用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等进行化学反应。

等离子表面处理机原理

等离子表面处理机的原理

等离子表面处理机的工作原理是将气体通过高频电场放电,产生等离子体。等离子体中的电子、离子、自由基等高能粒子与材料表面发生碰撞,将表面的污染物、氧化物等物质清除,同时激活表面分子,使其具有更强的反应性。此外,等离子体还能在表面形成一层薄膜,改变表面的化学性质,从而实现表面的改性。

等离子体是怎么形成的

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型的等离子的组成是，电子、离子、自由基和质子。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。离子体能够导电，和电磁力起反应。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理。辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。等离子体有一些显著的特征：

1） 气体产生辉光现象，常称为“辉光放电”。由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响。

2）气体中包含中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子温度介于102—103K，电子能量对应的温度高达105K，它们被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”。但是它们却表现出电中性（准中性）。

3） 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能等离子体可以通过直流或高频交流电场产生。当采用交流时，只能选用电信规定的科研及工业用频段（中频（MF）40KHz、高频（HF）13.56MHz、微波频率（MW）2.45GHz），否则会干扰无线电通信。-------------优普莱等离子体技术专业从事等离子研发

到此，以上就是微星自动化小编对于等离子体处理技术的问题就介绍到这了，希望介绍关于等离子体处理技术的3点解答对大家有用。