进口等离子清洗设备♏进口等离子清洗设备厂家

等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于进口等离子清洗设备的问题，于是微星自动化小编就整理了4个相关介绍进口等离子清洗设备的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. 等离子清洗机进口品牌
2. 等离子清洗机多少钱
3. schwarze等离子清洗机
4. 等离子清洗机的介绍

一、等离子清洗机进口品牌

　　等离子清洗机是当前半导体行业设备中使用非常广泛的一种清洗机型，其清洗效果优良、清洗速度快、使用寿命长等特点深受半导体制造厂家的青睐。国际上，等离子清洗机的品牌很哪早多，主要包括Lam、Turbis、Trion、PlasmaTherm、AMEC等。这些品牌在全球半导体产业中都占据着一定的市场份额。

　　作为等离子清洗机厂家，Lam Research在半导体制造设备领域拥有着重要的地位，其等离子清洗机产品线非常丰富，可以满足不同规模的半导体设备生产需求。同时，该公司的产品在清洗技术上始终处于行业领先地位，可为客户提供高品质清洗解决方案。

　　PlasmaTherm则是一家专注于纳米加工和微纳加工设备的公司，在等离子清洗机领域也有着非常强大的实力。现在，该公司的等离子清李慎雀洗机产品在全球范孝键围内得到广泛应用，得到了半导体厂商的高度认可。

　　以上品牌只是等离子清洗机市场中最有代表性的品牌之一，当前市场上还有许多其他品牌，如何选择适合自己的品牌则需要客户根据自身需求做出选择。

二、等离子清洗机多少钱

进口设备比国产设备价格都要贵一些。

进口设备有德国普思玛，德国欧倍尔，德国Diener，美国march，美国Harrick。韩国APP

国产设备有，广旅谨东达因特拆袭基，东莞微星等等。

等离子设备有分真空等离子清洗机和大气等离子清洗机。

基中大气等离子又分为直喷和旋转型的等离子清洗机。

不同品牌，不同类型的等离子清洗机价格都不一样，具体要咨询禅握厂家。

1.价格方面：进口嫌基的等离子清洗机大概在7-10万美金/台（已60L为渗配例），国产的一般在21万人名币左右含17%税

2.售后服务：国产的售后服务相对快些，进口的售后服务相对滞后，

3.外观：芹喊谨国产的不如进口的

4.性能方面：进口的相对好点

5.质量方面：国产的不亚于进口

三、schwarze等离子清洗机

schwarze等离子清洗机和德国diener等离子清洗机一样，是采谈团用德国技术，德国品质的厅基等离子清洗机扮侍谨设备，

Schwarze公司成立于2000年，专门提供设备所需各种零件及技术。是一个年轻有活力的公司，并且在国际低温低压等离子清洗（刻蚀）设备制造商中处于领军者的地位，产品包括多种型号，分别适用于实验室和高科技生产企业，其中也包括特殊定制的型号或系统铅虚以供特殊应用。

Schwarze是国内等离子表面处理领域的领导者磨激颤，致力于为航空瞎败航天、国防军工、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学医疗、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案，以帮助客户提高产品质量、攻克技术难题，同时降低对环境的不良影响。

Schwarze等离子清洗和等离子刻蚀设备, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

四、等离子清洗机的介绍

普特勒电气科技公司专注于等离子技术产品的研发、应用与生产，通过等离子技术的进纳唤步，可以取代原有的低效率、重污染、高成本的生产工艺环节，为各个领域的工艺优化提供更好的方案。

主要技术产品：

低温大气洞银凯射频辉光等离子技术

低温大气射流等离子技术

低温中频真空等离子技术

低温射频真空等离子技术

PTL--普特勒低温大气射频辉光等离子技术

PTL普特勒公司通过多年射频电源的研发经验及对放电控制技术深入实验，成功实现了在大气压下的射频均匀辉光放电，使射频辉光放电不再需要真空状态，实现了最大2000mm的宽幅均匀辉光放电，并在多个领域实现应用。系统使用方便、性能稳定、低耗高效。

PTL-普特勒低温大气射频辉光等离子系统的应用领域

FPD 方面

LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离子技术相比，扩张性比较容易，所以从第一代较小的基板开始到第十代3000mm扩大的大型基板都可以使用。

TSP 方面

触摸屏的主要工艺的清洗，提高OCA/OCR，压层，ACF，AR/AF涂层等工艺上的粘合力/涂层力，为去除气泡/异物，通过搏念多种大气压等离子形态的运用，可以将各种玻璃，薄膜均匀的大气压等离子放电使表面无损坏进行处理。

半导体 方面

半导体成型工艺，刻模工艺&焊接工艺，焊球连接&安装工艺的广泛使用可以提高芯片和环氧间的粘结力，和引线框架的安装和粘接力，板材和焊球之间的粘结力。防止半导体特性上的电气损坏或者容易发生的静电问题 ，可以采用多元系统技术。另外，因为可以根据硅片的大小制造大气压等离子，无论多小的等离子都可以适用。

到此，以上就是微星自动化小编对于进口等离子清洗设备的问题就介绍到这了，希望介绍关于进口等离子清洗设备的4点解答对大家有用。