plasma等离子清洗机清洗原理♏plasma等离子清洗机的原理

等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 2.等离子清洗原理：[1] 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在。

大家好，今天微星自动化小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于plasma等离子清洗机清洗原理的问题，于是微星自动化小编就整理了4个相关介绍plasma等离子清洗机清洗原理的解答，让我们一起看看吧。

文章目录：

1. plasma清洗的工作原理,比如纯氧气体清洗水印的!
2. 等离子清洗机清洗原理
3. 等离子清洗是什么?
4. 在plasma清洗机中Ar起什么作用,原理是什么

一、plasma清洗的工作原理,比如纯氧气体清洗水印的!

　　等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪（plasma surface treatment）,是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。 等离子清洗机(plasma cleaner)

　　1.等离子体基础知识： 　　等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施派岩加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 　　2.等离子清洗原理：[1] 　　等离子体是物质的一漏铅种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四中尘搜御状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。 　　等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性 .....

二、等离子清洗机清洗原理

等离子清洗机清洗原理是，通过利用等离子体的“活性”组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起会产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

三、等离子清洗是什么?

等离子清洗设备的原理是在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频电猜好源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁活化的目的。是清洗方法中最为彻底的剥离式清洗，其最大优势在于清洗后无废液，最大特点是对金属、半指兆基导体、氧化物和大多数高分子材料等都能唯谨很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

等离子体是物质的第四态，在气体状态接受足够的能量即可变为等离子体态

是由带电粒子（包括离子、电子、离子团）和中性陆段激粒燃搭子组成的系统。具体地讲，等离子体就是一种特殊的电离气体。需要有足够的电离度的电离气体才具有等离子体性早袜质 ( 电离度 >10-4 )。

等离子是一种新型技术手段，可以提高产品的良品率，值得采纳引进。

等离子处理英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子清洗机，等离子表面改性设备,电浆清洁机,等离子表面处理机,等离子体表面处理设备,等离子蚀刻机,等离子清洗器,等离子清洗仪祥核旦。电浆清洗机.等离子体材料表面改性处理设备，等离子体表面改性产品。广泛用于等离子清洗,刻蚀,等离子镀,等离子涂覆,等离子灰化和表面改性

等离子处理的优点：

1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；

3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；

5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清氏燃洗成本会大大低于湿法清洗。

6. 全过程可控工艺：所有参数可由电脑设置和数据记录，进行质量控制。

7. 处理物几何形状无限制：大或小，简单或复谨扰杂，部件或纺织品，均可处理。

四、在plasma清洗机中Ar起什么作用,原理是什么

本来是来搜索这个问题的答案的，刚看了别人的介绍。我就借花献佛了。

1. Plasma 清洗原理：

清洗chamber在低压情况下（使用真空pump抽空气），注入Ar气体，再给chamber内的电极加高电压，使倒chamber内的气体生产电离，由于有电场的存在，正离子住负电极跑，负的电子向正电极跑，在跑的过程中，又会撞击在chamber内的气体分子，形式链式反应。Ar+离子在跑向负极的过程中，会撞击在要洗清物品的表面上，与表面的污渍或异物分子发生化学反应，达到清洗的效果。再用真空pump抽走chamber内的已经脏了的Ar气体，如此循环。

2. Ar 的作用

一般Plasma采用O2 或Ar 作为清洗气体，由于Ar是惰性气体，不易与其它物体发生化学反应，所以，一般情况下，Plasma都采用Ar, 有些特殊要求的除外。

到此，以上就是微星自动化小编对于plasma等离子清洗机清洗原理的问题就介绍到这了，希望介绍关于plasma等离子清洗机清洗原理的4点解答对大家有用。